[发明专利]用于硅太阳能电池的铜胶金属化有效

专利信息
申请号: 201180053663.4 申请日: 2011-08-26
公开(公告)号: CN103229314A 公开(公告)日: 2013-07-31
发明(设计)人: J·M·吉 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/0216;H01L31/042;H01B1/02
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 侯颖媖
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 用于 太阳能电池 金属化
【权利要求书】:

1.一种用于在太阳能电池上形成触点结构的方法,所述方法包括以下步骤:

将铜金属化胶沉积于基板上,所述基板包括掺杂半导体材料;以及对所述铜金属化胶加热,以形成铜层,其中所述铜金属化胶包括:

有机基质;

玻璃料,所述玻璃料在所述有机基质内;以及

金属粉末,所述金属粉末在所述有机基质内,所述金属粉末包括封胶含铜粒子,其中所述封胶含铜粒子中的至少一些进一步包括:

含铜粒子;以及

至少一个涂层,所述至少一个涂层围绕所述含铜粒子,其中所述涂层选自由以下组成的群组:

镍(Ni);

锌(Zn);

镍(Ni),及钛(Ti)、氮化钛(TiN)、钨(W)、钛钨(TiW)、掺钨钴(Co:W)、钴(Co)、铬(Cr)、钼(Mo)、钽(Ta)、过渡金属氮化物、过渡金属硅化物合金、上述材料的合金或上述材料的组合物中的至少一者;

锌(Zn),及镍(Ni)、钛(Ti)、氮化钛(TiN)、钨(W)、钛钨(TiW)、掺钨钴(Co:W)、钴(Co)、铬(Cr)、钼(Mo)、钽(Ta)、过渡金属氮化物及过渡金属硅化物合金、上述材料的合金或上述材料的组合物中的至少一者;以及

银(Ag),及镍(Ni)、钛(Ti)、氮化钛(TiN)、钨(W)、钛钨(TiW)、掺钨钴(Co:W)、钴(Co)、铬(Cr)、钼(Mo)、钽(Ta)、过渡金属氮化物、过渡金属硅化物合金、上述材料的合金或上述材料的组合物中的至少一者。

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法进一步包括以下步骤:

将接触层胶沉积于所述基板的表面上;

将所述铜金属化胶沉积于所述接触层胶上;以及

对所述接触层胶及所述铜金属化胶加热,以将铜层形成于接触层上,其中所述接触层提供与所述基板的欧姆接触。

3.如权利要求2所述的方法,其特征在于,所述接触层胶包括铜金属化胶,所述铜金属化胶不同于用以形成所述铜层的铜金属化胶。

4.一种用于在太阳能电池上形成触点结构的方法,所述方法包括以下步骤:

将接触层沉积于基板的表面上,所述基板包括掺杂半导体材料;

将金属化阻障层沉积于所述接触层上;

将铜层沉积于所述金属化阻障层上,所述铜层包括封胶含铜粒子;

将氧化阻障层沉积于所述铜层上;以及

对所述接触层、金属化阻障层、铜层及氧化阻障层加热,以烧结上述各层且形成与所述基板的欧姆接触,其中使用喷墨沉积工艺来执行上述沉积步骤。

5.一种太阳能电池,所述太阳能电池包括:

基板,所述基板包括掺杂半导体材料;以及

前触点结构,所述前触点结构在所述基板的前表面的一部分上,其中所述前触点结构包括:

铜层,所述铜层包括烧结的封胶含铜粒子,其中所述封胶含铜粒子中的至少一些进一步包括:

含铜粒子;以及

至少一个涂层,所述至少一个涂层围绕所述含铜粒子,其中所述涂层选自由以下组成的群组:

镍(Ni);

锌(Zn);

镍(Ni),及钛(Ti)、氮化钛(TiN)、钨(W)、钛钨(TiW)、掺钨钴(Co:W)、钴(Co)、铬(Cr)、钼(Mo)、钽(Ta)、过渡金属氮化物、过渡金属硅化物合金、上述材料的合金或上述材料的组合物中的至少一者;

锌(Zn),及镍(Ni)、钛(Ti)、氮化钛(TiN)、钨(W)、钛钨(TiW)、掺钨钴(Co:W)、钴(Co)、铬(Cr)、钼(Mo)、钽(Ta)、过渡金属氮化物及过渡金属硅化物合金、上述材料的合金或上述材料的组合物中的至少一者;以及

银(Ag),及镍(Ni)、钛(Ti)、氮化钛(TiN)、钨(W)、钛钨(TiW)、掺钨钴(Co:W)、钴(Co)、铬(Cr)、钼(Mo)、钽(Ta)、过渡金属氮化物、过渡金属硅化物合金、上述材料的合金或上述材料的组合物中的至少一者。

6.如权利要求5所述的太阳能电池,其特征在于,所述至少一个涂层进一步包括:

第一阻障层;以及

第二阻障层,其中所述第一阻障层为最外层,且所述第二阻障层位于所述第一阻障层与所述含铜粒子之间。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司,未经应用材料公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201180053663.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top