[发明专利]制备三氯硅烷的方法

权利要求书

1.用于制备三氯硅烷的方法，其中

a) 在步骤1中，使四氯化硅与硅在＞800-1450℃的温度下反应，

b) 在步骤2中，冷却得自步骤1的产物流(PS)，由此得到产物流(PG2)，

c) 在步骤3中，任选地由产物流(PG2)分离出STC和HCDS，由此以残液或柱底产物的形式得到产物混合物(PG3)，

d) 在步骤4中，任选地由步骤3的产物流PG3中分离OCTS，由此以残液或柱底产物的形式得到产物混合物(PG4)，

e) 在步骤5中，由步骤2得到的产物流(PG2)或由步骤3得到的产物流(PG3)或由步骤4得到的产物流(PG4)或由产物流PG2和PG3组成的混合物或由产物流PG2和PG4组成的混合物与氯化氢发生反应，由此得到产物流(PHS)，和

f) 在下一步骤6中，由如此得到的产物流(PHS)中分离三氯硅烷，并排出余下的含STC的柱底物或将其作为原料成分返回到该过程的步骤1中。

2.根据权利要求1的方法，其特征在于，步骤1在0.1-10 bar的压力下和基本上排除氧和水条件下在固定床反应器中或在流化床反应器中进行。

3.根据权利要求1或2的方法，其特征在于，以0.1 cm/s至1 m/s的流动速度输送得自步骤1的产物流PS。

4.根据权利要求1-3至少之一的方法，其特征在于，步骤1中STC和Si的反应在催化剂存在下进行，其中所述催化剂选自元素周期表的过渡金属或第一至第五主族的至少一种元素或元素的至少一种化合物。

5.根据权利要求1-4至少之一的方法，其特征在于，在步骤1中，用具有至少50重量% Si的Si-含量的硅品质连续或间歇地加载反应器。

6.根据权利要求1-5至少之一的方法，其特征在于，在步骤2中，使用热交换器冷却和/或通过供入液态STC骤冷得自步骤1的产物流(PS)，其中产生的产物流(PG2)优选具有高于50℃，优选高于220℃的温度。

7.根据权利要求1-6至少之一的方法，其特征在于，在步骤3中，通过分馏从产物流(PG2)中分离STC和HCDS，将STC返回到步骤1和/或2中，并将残液或柱底产物(PG3)任选地供入步骤4或步骤5。

8.根据权利要求1-7至少之一的方法，其特征在于，在步骤4中，通过分馏从得自步骤3的残液(PG3)中分离OCTS，并将余下的残液或柱底产物(PG4)供入步骤5。

9.根据权利要求1-8至少之一的方法，其特征在于，在步骤5中，反应在20-200℃的温度下，在10 mbar-10 bar的压力下进行，其中过量使用HCl，并且该反应任选在催化剂存在下进行。

10.根据权利要求9的方法，其特征在于，该反应在承载于二氧化硅上的二异丁基氨基丙基三甲氧基硅烷的存在下进行。

11.根据权利要求1-10至少之一的方法，其特征在于，在步骤6中，在分离TCS 后，将主要含STC的残液或柱底产物返回到工艺过程中。