[发明专利]正型光致抗蚀剂组合物

说明书

技术领域

本发明涉及显影性和耐热性优异的正型光致抗蚀剂组合物。

背景技术

作为在IC、LSI等半导体制造、LCD等显示装置制造、印刷原版制造等中使用的抗蚀剂，已知使用碱可溶性树脂和1,2-二叠氮基萘醌化合物等光敏剂的正型光致抗蚀剂。作为前述碱可溶性树脂，提出了使用以间甲酚和对甲酚为原料的甲酚酚醛清漆树脂作为碱可溶性树脂的正型光致抗蚀剂组合物（例如，参照专利文献1。）。

另外，作为前述碱可溶性树脂，提出了使用以间甲酚、对甲酚和间苯二酚为原料的甲酚酚醛清漆树脂作为碱可溶性树脂的正型光致抗蚀剂组合物（例如，参照专利文献2。）。

专利文献1和2记载的正型光致抗蚀剂组合物是为了灵敏度等显影性的提高而开发的，而近年来，半导体的高度集成化增加，图案有进一步细线化的倾向，逐渐要求更优异的灵敏度。然而，专利文献1记载的正型光致抗蚀剂组合物存在无法得到与细线化相应的充分的灵敏度的问题。进而，从在半导体等的制造工序中会实施各种热处理的角度出发还要求更高的耐热性，而专利文献1记载的正型光致抗蚀剂组合物存在耐热性不充分的问题。

此处，存在为了提高作为碱可溶性树脂的酚醛清漆型酚醛树脂的灵敏度而采用提高碱可溶性的设计时耐热性会降低、采用提高耐热性的设计时灵敏度会降低的问题，难以兼具灵敏度和耐热性，需要兼具灵敏度和耐热性的材料。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭60-159846号公报

专利文献2：日本特开平11-258808号公报

发明内容

发明要解决的问题

本发明要解决的问题是：提供以高水平兼具至今难以兼具的灵敏度和耐热性的正型光致抗蚀剂组合物。

用于解决问题的方案

本发明人等反复进行了深入研究，结果发现，使用以间甲酚、对甲酚和甲醛为必需原料制造的甲酚酚醛清漆树脂作为碱可溶性树脂、使用通过间苯二酚对以邻甲酚为必需原料制造的酚醛清漆型酚醛树脂进行改性而得到的酚醛清漆型酚醛树脂作为灵敏度改进剂的正型光致抗蚀剂组合物具有优异的灵敏度和耐热性，从而完成本发明。

即，本发明涉及正型光致抗蚀剂组合物，其特征在于，其含有甲酚酚醛清漆树脂（A）和酚醛清漆型酚醛树脂（B），所述甲酚酚醛清漆树脂（A）是以间甲酚、对甲酚和甲醛为必需原料制造的，所述酚醛清漆型酚醛树脂（B）是以邻甲酚、间苯二酚和甲醛为必需原料制造的。

发明的效果

本发明的正型光致抗蚀剂组合物由于以高水平兼具至今难以兼具的灵敏度和耐热性，且具有非常高的灵敏度和耐热性，因而适宜用作在要制作更细线化的图案的IC、LSI等半导体制造、LCD等显示装置制造、印刷原版制造等中使用的正型光致抗蚀剂。

具体实施方式

本发明的正型光致抗蚀剂组合物含有甲酚酚醛清漆树脂（A）和酚醛清漆型酚醛树脂（B），所述甲酚酚醛清漆树脂（A）是以间甲酚、对甲酚和甲醛为必需原料制造的，所述酚醛清漆型酚醛树脂（B）是以邻甲酚、间苯二酚和甲醛为必需原料制造的。

首先，对前述甲酚酚醛清漆树脂（A）进行说明。前述甲酚酚醛清漆树脂（A）是以间甲酚、对甲酚和甲醛作为必需原料，将它们缩合而成的酚醛清漆型酚醛树脂。

从能够兼具灵敏度和耐热性出发，作为前述甲酚酚醛清漆树脂（A）的必需原料使用的间甲酚与对甲酚的摩尔比[间甲酚/对甲酚]优选为10/0～2/8的范围，更优选为7/3～2/8的范围。