[发明专利]正型光致抗蚀剂组合物

权利要求书

1.一种正型光致抗蚀剂组合物，其特征在于，其含有将下述通式（1）或（2）所示的芳香族化合物（A）和脂肪族醛化合物（B）缩聚而得到的酚醛清漆型酚醛树脂（C）作为必需成分，

[化学式1]

式中，R¹、R²和R³分别独立地为碳原子数1～8的烷基，另外，m、n和p分别独立地为0～4的整数，q为1～（5-p）的整数，s为1～（9-p）的整数。

2.根据权利要求1所述的正型光致抗蚀剂组合物，其中，所述芳香族化合物（A）是将烷基取代酚（a1）和具有酚性羟基的芳香族醛（a2）缩合而成的，所述烷基取代酚（a1）为2,5-二甲酚和/或2,6-二甲酚。

3.根据权利要求1或2所述的正型光致抗蚀剂组合物，其中，所述芳香族醛（a2）为羟基苯甲醛和/或羟基萘甲醛。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的正型光致抗蚀剂组合物，其中，所述脂肪族醛化合物（B）为甲醛。