[发明专利]使用热活性模具制造无支撑半导体材料物品的方法无效

专利信息
申请号: 201180056400.9 申请日: 2011-11-22
公开(公告)号: CN103221587A 公开(公告)日: 2013-07-24
发明(设计)人: S·波塔潘科;B·苏曼;田丽莉;A·尤森科 申请(专利权)人: 康宁股份有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;B28B1/38
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 姬利永
地址: 美国*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 使用 活性 模具 制造 支撑 半导体材料 物品 方法
【权利要求书】:

1.一种制造无支撑半导体材料物品的方法,包括:

提供具有外表面温度T表面和内核温度T的模具,其中T表面>T

提供温度T熔融下的熔融半导体材料,其中T熔融>T

将所述模具浸入所述熔融半导体材料中达足以在所述模具的外表面上形成所述半导体材料的固体层的时间段;

将所述具有半导体材料的固体层的模具从所述熔融半导体材料收回;以及

使所述半导体材料的固体层与所述模具分离以形成无支撑的半导体材料物品。

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,T熔融>T表面

3.如权利要求2所述的方法,其特征在于,T表面比T熔融低大约10℃至700℃。

4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述半导体材料是从硅、硅的合金和化合物、锗、锗的合金和化合物、砷化镓、砷化镓的合金和化合物、锡、锡的合金和化合物、以及它们的混合物中选取的。

5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述半导体材料是从硅、硅合金和硅化合物中选取的。

6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,T在大约50℃至200℃之间。

7.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述无支撑物品具有从100μm至400μm的厚度。

8.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述无支撑物品进一步包括散布在所述半导体材料中的掺杂物。

9.如权利要求1所述的方法,其特征在于,从所述模具的内核至所述模具的外表面的距离从大约0.05cm至0.5cm。

10.如权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括:

在将所述模具浸入熔融半导体材料之前和/或将所述模具浸入熔融半导体材料时,用微粒涂覆所述模具的外表面。

11.如权利要求10所述的方法,其特征在于,所述微粒是从硅、氧化硅、氮化硅、氧化铝、硅酸铝及其组合中选取的。

12.一种当制造无支撑半导体材料物品时在无支撑物品成形期间控制半导体材料晶体的成核速率和/或颗粒生长的稳定性的方法,包括:

提供具有外表面温度T表面和内核温度T的模具,其中T表面>T

提供温度T熔融下的熔融半导体材料,其中T熔融>T

将所述模具浸入所述熔融半导体材料达足以在所述模具的外表面上形成所述半导体材料的固体层的时间段;

将所述具有半导体材料的固体层的模具从所述熔融半导体材料收回;以及

使所述半导体材料的固体层与所述模具分离以形成无支撑的半导体材料物品。

13.如权利要求12所述的方法,其特征在于,T熔融>T表面

14.一种提高由半导体材料物品形成的太阳能电池的效率的方法,包括:

提供具有外表面温度T表面和内核温度T的模具,其中T表面>T

提供温度T熔融下的熔融半导体材料,其中T熔融>T

将所述模具浸入所述熔融半导体材料达足以在所述模具的外表面上形成所述半导体材料的固体层的时间段;

将所述具有半导体材料的固体层的模具从所述熔融半导体材料收回;

使所述半导体材料的固体层与所述模具分离以形成无支撑半导体材料物品;以及

使用所述无支撑半导体材料物品形成太阳能电池。

15.如权利要求14所述的方法,其特征在于,T熔融>T表面

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于康宁股份有限公司,未经康宁股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201180056400.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top