[发明专利]用非均质通道形成层叠体制造流体模块

权利要求书

1.一种制造包含限定在玻璃或玻璃-陶瓷结构中的流体通道（60）的流体模块（80）的方法，所述方法包括：

提供包含模具接合层（20）和层叠体骨架（30）的非均质的通道形成层叠体（10），其中所述层叠体骨架（30）包含限定支持粘度μ_B的玻璃质体；

在模塑温度T_M下，压制通道形成模具（50）与通道形成层叠体（10）的模具接合层（20）接合，以形成通道形成层叠体（10）中的流体通道组件（40），其中在模塑温度T_M下，模具接合层的模塑粘度μ_M小于层叠体骨架的支持粘度μ_B，

将经过压制的通道形成层叠体（10'）与多个互补压制的通道形成层叠体（10'）叠置，以在叠置的层叠体结构（70）中限定多个流体通道（60）；以及

在密封温度T_S下，对叠置的层叠体结构（70）中的多个流体通道（60）进行密封，该密封温度T_S低于模塑温度T_M并高于模具接合层（20）的软化点温度。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：

所述非均质的通道形成层叠体（10）包含一对模具接合层（20）和插入其间的层叠体骨架（30）；以及

所述通道形成模具（50）的相对部分被压制成与所述一对模具接合层（20）接合。

3.如权利要求1和2中任一项所述的方法，其特征在于：

所述模具接合层（20）和层叠体骨架（30）限定了热膨胀的错配系数；以及

所述热膨胀错配的系数是明显的，足以在叠置的层叠体结构（70）中产生强度增强的表面压缩。

4.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于，所述模具接合层（20）和层叠体骨架（30）限定了错配小于约50ppm的热膨胀系数。

5.如权利要求1-4中任一项所述的方法，其特征在于，模塑温度T_M在约1000°C和约1150°C之间，并且维持的持续时间在约15分钟和约90分钟之间。

6.如权利要求1-5中任一项所述的方法，其特征在于，密封温度在约750°C和约850°C之间，并且维持的持续时间在约15分钟和约60分钟之间。

7.如权利要求1-6中任一项所述的方法，其特征在于，在没有颗粒状玻璃密封剂帮助的情况下密封流体通道（60）。

8.如权利要求1-7中任一项所述的方法，其特征在于，密封温度T_S和密封持续时间足以利用表面张力作用在流体通道（60）中产生圆化边缘并消除锐角。

9.如权利要求1-8中任一项所述的方法，其特征在于，所述模具接合层（20）包含硼硅酸盐玻璃组合物。

10.如权利要求1-9中任一项所述的方法，其特征在于，在密封温度T_S下，所述模具接合层（20）的模塑粘度μ_M和层叠体骨架（30）的支持粘度μ_B限定了粘度比率至少约为100:1。

11.如权利要求1-10中任一项所述的方法，其特征在于，在密封温度T_S下，所述模具接合层（20）的模塑粘度μ_M在约1x10⁷泊至约1x10⁸泊之间。

12.如权利要求1-11中任一项所述的方法，其特征在于，在密封温度T_S下，所述层叠体骨架（30）的支持粘度μ_B至少约为1x10¹⁰泊。

13.如权利要求1-12中任一项所述的方法，其特征在于，所述通道形成模具（50）包含石墨模板。