[发明专利]涡旋式流体机械的被膜形成方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及在构成涡旋式流体机械的螺旋形状的卷板部的侧面形成均匀被膜的方法及装置。

背景技术

涡旋式流体机械作为涡旋式压缩机、涡旋式真空泵、涡旋式膨胀机、涡旋式鼓风机等而使用。涡旋式流体机械由在端板上竖立设置有螺旋形状的卷板部的固定涡旋体及回转涡旋体、和不使该回转涡旋体自转而仅使其公转的驱动机构构成。并且，形成由固定涡旋体及回转涡旋体的端板以及卷板包围的多个封闭空间，将被处理气体导入该封闭空间而进行压缩、膨胀或减压等处理。

由于涡旋式流体机械在由固定涡旋体和回转涡旋体形成的封闭空间中进行吸入的气体的压缩、减压，因此，为了确保压缩性能和减压性能等，涡旋式流体机械要求高密封性。此外，为了抑制固定涡旋体与回转涡旋体的卷板部之间的咬接(かじり)、磨损、损伤等，需要在固定涡旋体的卷板部与回转涡旋体的卷板部之间形成微米单位的微小间隙。从上述观点考虑，在固定涡旋体及回转涡旋体的加工过程中要求高精度的加工精度。

然而，在固定涡旋体、回转涡旋体中，由于不断地被在封闭空间中压缩或减压的气体加热或冷却，因此经常产生热变形。而且，由于气体的温度在涡旋体的中央区域与外侧区域不同，因此因该温度差而产生热形变。产生了该热形变的涡旋体在后述的专利文献2的图3中示出。

在图5中示出专利文献2的图3。在图5中，固定涡旋体100由端板102和卷板部104构成，回转涡旋体110由端板112和卷板部114构成。在涡旋式压缩机中，外周部的温度、压力较低，越朝向中心部则温度、压力越高。因此，在回转涡旋体110的卷板部114上，从中心部朝向外周部作用有应力，其如花瓣绽放那样变形。虽然程度小，但固定涡旋体100也可观察到这一趋势。因此，卷板部104、114与端板102、112的间隙120a及120b从中心部朝向外周部变大。

然而，以同时实现封闭空间的密封性的保持和卷板部间的微小间隙的保持的方式进行管理并非易事。作为用于保持卷板部间的微小间隙的一种方法，具有在卷板的侧面或端面上实施涂敷的方法。将具有润滑性、耐磨损性的涂敷膜夹在卷板部间，使该涂敷膜具有缓冲功能，进而，通过在运转过程中削掉该涂敷膜，从而在卷板部间形成最适当的间隙。

在专利文献1中公开了如下的结构，即，在涡旋体的至少一方的卷板部的侧面上形成有由橡胶、合成树脂材料等弹性材料构成的弹性覆盖层，在该弹性覆盖层之上形成有由含有二硫化钼(MoS₂)的树脂材料、氟类树脂材料、碳系树脂材料等自润滑性材料构成的润滑性覆盖层。

专利文献2涉及一种涡旋型泵，作为在涡旋体的卷板部和端板上涂布含有MoS₂粒子的耐制冷剂树脂的表面覆盖剂的结构以及涂布该表面覆盖剂的方法，公开有如下的覆盖方法，即，在涂布该表面覆盖剂后，在该表面覆盖剂固化前组装涡旋泵并使其运转，使表面覆盖剂的多余量向涡旋体外排出，从而使表面覆盖剂的膜厚成为适当的膜厚。

在专利文献3中，公开了在涡旋体的卷板部的侧面形成有由与专利文献1同样的自润滑性材料构成的润滑性覆盖层的结构。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-280669号公报

专利文献2：日本特开2003-35284号公报

专利文献3：日本特开2009-57897号公报

发明概要

发明要解决的课题

如上所述，为了保持在涡旋体上形成的封闭空间的密封性且消除卷板部间的咬接等，需要对卷板部间的间隙进行精密的控制。因此，在卷板部的侧面、端板上形成涂敷膜的方法中，需要使覆盖在卷板部的侧面、端板上的覆盖层的膜厚不论中心区域、外侧区域而作为整体都均匀地涂布。然而，包括专利文献1～3在内，至今仍未提出能够以简单的方法实现上述效果的技术。

在专利文献2中公开的覆盖方法由于处理固化前的被膜剂，因此被认为操作麻烦且难以得到精度优良的膜厚。

发明内容

因此，本发明鉴于所述现有技术的课题，其课题在于实现一种在涡旋体的卷板部上以简单且低成本的方法获得整体均匀且高精度的膜厚的被膜形成方法。

用于解决课题的方法