[发明专利]粒子光学系统及布置，以及用于这种系统及布置的粒子光学组件

权利要求书

1.一种带电粒子多小波束系统，包含：

带电粒子的源；

具有多个孔径的第一多孔径板，其布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游；

第一多孔径选择器板，具有多个孔径；

载体，其中所述第一多孔径选择器板安装在所述载体上；

致动器，构造为移动所述载体，使得在所述系统的第一操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游，并且使得在所述系统的第二操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述带电粒子束路径之外；

其中，所述源、所述第一多孔径板和所述载体被布置为使得在所述第一操作模式中，在所述第一多孔径板和所述第一多孔径选择器板二者下游的位置处产生第一数量的带电粒子小波束，并且使得在所述第二操作模式中，在所述位置处产生第二数量的带电粒子小波束，其中小波束的第一数量与小波束的第二数量不同。

2.根据权利要求1所述的带电粒子多小波束系统，还包含聚焦透镜，其布置在所述第一多孔径板和所述第一多孔径选择器板二者下游的束路径中。

3.根据权利要求2所述的带电粒子多小波束系统，还包含载台，用于将物体安装在位于所述聚焦透镜下游的物平面中。

4.根据前述权利要求中的任一项所述的带电粒子多小波束系统，还包含第一电压源，其构造为将第一电压提供给所述第一多孔径板，使得穿过所述第一多孔径板的孔径的带电粒子小波束各自在所述第一多孔径板下游的一距离处具有小波束焦点。

5.根据权利要求3所述的带电粒子多小波束系统，其中，所述聚焦透镜被构造为使得所述小波束焦点成像于所述物平面上。

6.根据权利要求2至5中的任一项所述的带电粒子多小波束系统，还包含具有孔径的场分离电极，其布置在所述聚焦透镜下游且在所述物平面上游的带电粒子束路径中。

7.根据权利要求6所述的带电粒子多小波束系统，其中，所述场分离电极的孔径具有一直径，使得其在所述第一操作模式中由所述第一数量的小波束穿过，而在所述第二操作模式中由所述第二数量的小波束穿过。

8.根据权利要求6和7所述的带电粒子多小波束系统，其中，所述场分离电极的孔径的直径小于2.0mm、1.5mm、1.0mm、0.8mm、0.6mm和0.4mm中的至少一个。

9.根据权利要求6至8中的任一项所述的带电粒子多小波束系统，其中，所述聚焦透镜具有孔直径，并且其中满足以下关系中的至少一个：

Db/De>2，Db/De>5，Db/De>10以及Db/De>20，其中

Db为所述聚焦透镜的孔直径，以及

De为所述场分离电极的孔径的直径。

10.根据权利要求6至9中的任一项所述的带电粒子多小波束系统，其中，所述场分离电极与所述物平面的距离小于2.0mm、1.2mm、0.8mm、0.5mm、0.3mm和0.2mm。

11.根据权利要求6至10中的任一项所述的带电粒子多小波束系统，还包含第二电压源和第三电压源，该第二电压源被构造为将第二电压提供给所述场分离电极，该第三电压源被构造为将第三电压提供给所述物体。

12.根据权利要求11所述的带电粒子多小波束系统，还包含控制器，其构造为控制所述致动器和所述第二和第三电压源，以及其中在所述第一操作模式中的小波束的第一数量小于在所述第二操作模式中的小波束的第二数量。

13.根据权利要求12所述的带电粒子多小波束系统，其中，所述控制器被构造为控制所述第二和第三电压源，使得在所述第一操作模式中，第一电压差存在于所述第二电压和所述第三电压之间，并使得在所述第二操作模式中，第二电压差存在于所述第二电压和所述第三电压之间，并且其中所述第一电压差与所述第二电压差不同。

14.根据权利要求13所述的带电粒子多小波束系统，其中，所述第一电压差小于所述第二电压差。