[发明专利]锌气体的供给方法以及供给装置

权利要求书

1.一种锌气体的供给方法，其特征在于，包括：

在锌气体蒸发装置中导入熔体锌的步骤（1）；

输入与锌气体的供给速度相对应的电力，藉由高频感应加热使锌自己发热而由上述熔体锌产生上述锌气体的步骤（2）；

将所产生的上述锌气体导入至气体加热装置的步骤（3）；以及

藉由电阻加热将上述锌气体加热而制成过度加热的上述锌气体的步骤（4）。

2.根据权利要求1所述的锌气体的供给方法，其中，上述步骤（2）是在上述锌气体蒸发装置内的上述熔体锌的液面处于液面高度40%～100%的范围时进行。

3.根据权利要求1或2所述的锌气体的供给方法，其中，导入至上述锌气体蒸发装置的上述熔体锌的温度为430℃～700℃的范围，藉由上述高频感应加热而产生的上述锌气体的温度为锌的沸点温度，过度加热的上述锌气体的温度为锌的沸点温度～1100℃的范围。

4.根据权利要求1-3所述的锌气体的供给方法，其中，导入至上述锌气体蒸发装置的上述熔体锌为选自由将氯化锌电解而得的熔体锌、及将电解锌、干式精炼锌或再循环锌熔解而得的熔体锌所组成的族群中的1种以上的熔体锌。

5.根据权利要求4所述的锌气体的供给方法，其中，导入至上述锌气体蒸发装置的上述熔体锌为将氯化锌电解而得的熔体锌。

6.根据权利要求1-5任一项所述的锌气体的供给方法，其中，上述步骤（1）是一边测量上述锌气体蒸发装置内的上述熔体锌的重量及温度，一边在上述锌气体蒸发装置中导入上述熔体锌的步骤，

上述步骤（2）是输入与根据上述锌气体蒸发装置的放热量及上述高频感应加热的装置效率算出的上述锌气体的上述供给速度相对应的电力，藉由上述高频感应加热使锌自己发热而由上述熔体锌产生上述锌气体的步骤。

7.根据权利要求1-5任一项所述的锌气体的供给方法，还包括：

直至上述锌气体蒸发装置内的熔体温度达到锌的沸点温度为止，输入上述锌气体蒸发装置的内部相当于锌的沸点温度时的装置的放热量的高频感应电力，而使上述熔体锌的温度上升至锌的沸点温度的步骤；以及

自上述锌气体蒸发装置内的上述熔体温度达到锌的沸点温度时起，一边测量上述锌气体蒸发装置内的上述熔体锌的重量及温度，一边在上述锌气体蒸发装置中导入上述熔体锌的步骤，

上述步骤（2）是输入与上述锌气体的上述供给速度相对应的电力，藉由上述高频感应加热由上述熔体锌产生目标速度的上述锌气体的步骤。

8.根据权利要求1-5任一项所述的锌气体的供给方法，其中，上述步骤（1）是一边测量上述锌气体蒸发装置内的上述熔体锌的重量及温度、以及导入至上述锌气体蒸发装置的上述熔体锌的温度，一边以与上述锌气体的上述供给速度相同的速度将上述熔体锌导入至上述锌气体蒸发装置的步骤，

上述步骤（2）是输入与根据上述锌气体蒸发装置的放热量、上述高频感应加热的装置效率及导入至上述锌气体蒸发装置的上述熔体锌的温度算出的上述锌气体的上述供给速度相对应的电力，藉由上述高频感应加热使锌自己发热而由上述熔体锌产生上述锌气体的步骤，

连续地进行上述熔体锌的导入与上述锌气体的产生。

9.一种锌气体的供给装置，其特征在于：其用于根据权利要求1-8任一项所述的锌气体的供给方法，并包括锌气体蒸发装置、气体加热装置及控制装置。