[发明专利]由CVD制备锂基层的方法无效
| 申请号： | 201180057191.X | 申请日： | 2011-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN103298973A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 露西·若丹;菲利普·阿卡兹;让-曼努埃尔·德康;让-吕克·德尚夫尔;玛丽亚·德尔卡门·希门尼斯阿雷瓦洛;西尔万·普莱 | 申请（专利权）人： | 原子能及可替代能源委员会;阿奈里斯公司 |
| 主分类号： | C23C16/30 | 分类号： | C23C16/30;C23C16/448;H01M10/0562 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | cvd 制备 基层 方法 | ||
1.一种使用至少包含锂前体、路易斯碱和溶剂的液体混合物由CVD形成锂基层的方法。
2.权利要求1所述的由CVD形成锂基层的方法，其特征在于，将所述液体混合物以气溶胶的形式喷涂，随后蒸发。
3.权利要求1或2所述的由CVD形成锂基层的方法，其特征在于，所述层由LiPON、LiSiPON或(Li，La)Ti03制成。
4.在前权利要求中任一项所述的由CVD形成锂基层的方法，其特征在于，所述路易斯碱是胺，有利的是TMEDA或TMPDA型胺。
5.在前权利要求中任一项所述的由CVD形成锂基层的方法，其特征在于，所述锂前体是有机金属前体，有利的是醇盐、β-二酮酸盐或氨化物。
6.在前权利要求中任一项所述的由CVD形成锂基层的方法，其特征在于，所述溶剂是不含氧的脂族或芳香族有机溶剂如甲苯或辛烷，或醇型含氧的有机溶剂，如丁醇或异丙醇。
7.在权利要求3至6中任一项所述的由CVD形成锂基层的方法，其特征在于，磷前体和/或氮前体也以液体形式或以溶液的形式出现。
8.权利要求7所述的由CVD形成锂基层的方法，其特征在于，将所述磷前体和/或所述氮前体加入含有所述锂前体的所述液体混合物中。
9.在前权利要求中任一项所述的由CVD形成锂基层的方法，其特征在于，在3D构造的结构体上形成所述层。
10.在前权利要求中任一项所述的由CVD形成锂基层的方法，其特征在于，所述层形成微电池的电解质。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
