[发明专利]可聚合组成物、感光层、永久图案、晶圆级透镜、固态摄影组件及图案形成方法

权利要求书

1.一种可聚合组成物，包括：

聚合起始剂；

可聚合化合物；

钨化合物；

碱溶性黏合剂；以及

无机填料。

2.根据权利要求1所述的可聚合组成物，其中所述无机填料为二氧化硅。

3.根据权利要求1或2所述的可聚合组成物，其中所述碱溶性黏合剂具有酸基。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的可聚合组成物，其中所述酸基为酚羟基或硫醇基。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的可聚合组成物，其中所述碱溶性黏合剂具有交联基。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的可聚合组成物，其中所述聚合起始剂为苯乙酮类化合物且所述可聚合组成物还含有敏化剂。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的可聚合组成物，其中所述钨化合物由以下式（I）表示：

M_xW_yO_z   （I）

其中M表示金属，W表示钨，O表示氧，

0.001≤x/y≤1.1，且

2.2≤z/y≤3.0。

8.根据权利要求7所述的可聚合组成物，其中M为碱金属。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的可聚合组成物，其中所述可聚合化合物为在分子内具有多个可聚合基团的多官能可聚合化合物。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的可聚合组成物，其用于阻焊剂。

11.一种感光层，其由如权利要求1至10中任一项所述的可聚合组成物形成。

12.一种永久图案，其由如权利要求1至10中任一项所述的可聚合组成物形成。

13.根据权利要求12所述的永久图案，其中所述永久图案为阻焊层。

14.根据权利要求12所述的永久图案，其中所述永久图案为红外线阻挡膜。

15.一种晶圆级透镜，其具有透镜以及在所述透镜的圆周边缘部分中形成的如权利要求12所述的永久图案。

16.一种固态摄影组件，其具有如权利要求12至15中任一项所述的永久图案。

17.一种固态摄影组件，包括：

固态摄影组件基板，其在其一个表面上形成有摄影组件部分；以及

红外阻挡膜，其设置于所述固态摄影组件基板的另一表面侧，

其中所述红外线阻挡膜为如权利要求12所述的永久图案。

18.一种图案形成方法，其依序包括形成如权利要求11所述的感光层的步骤、图案逐次曝光所述感光层以固化曝光区域的步骤以及通过碱性显影移除未曝光区域以形成永久图案的步骤。