[发明专利]用于基于内衬的分配容器的连接器有效

专利信息
申请号: 201180059103.X 申请日: 2011-10-14
公开(公告)号: CN103261056A 公开(公告)日: 2013-08-21
发明(设计)人: 乔丹·亨利·霍奇斯;汤姆·约翰逊;阿米·扩兰德;格里格·尼尔森;里克·威尔逊;唐·韦尔 申请(专利权)人: 高级技术材料公司
主分类号: B65D85/84 分类号: B65D85/84;B65D47/06;B65D77/04;B67D7/06
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 高伟;陆弋
地址: 美国康*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 用于 基于 内衬 分配 容器 连接器
【说明书】:

技术领域

本公开涉及新颖且有利的储存及分配系统。更具体地,本公开涉及用于基于内衬的组件的新颖且有利的连接器组件,其中可在基于内衬的组件中储存、运输材料,且可从基于内衬的组件分配材料。

背景技术

许多制造程序需要使用超纯液体,诸如酸,溶剂,碱,光阻剂,掺杂剂,无机、有机及生物溶液,药剂及放射性化学品。该工业要求控制超纯液体中粒子的数目及大小以保证纯度。具体地,因为超纯液体应用于微电子制造过程中的许多方面,所以半导体制造商已经建立了用于制程化学品及化学品处理设备的严格的粒子浓度规范。该规范是必要的,因为如果在制造过程期间所使用的液体含有高程度的粒子或气泡,则该粒子或气泡可沉积于硅的固体表面上。这继而可导致产品故障及降低的质量及可靠性。

储存及分配系统用于储存、运输及分配上述液体,以及其它液基内容物,该储存及分配系统通常包括某种容器和/或内衬、盖及连接器,该盖可用于在不分配内容物时密封且保护储存系统的内容物,该连接器可用于分配来自容器的内容物。在分配期间所使用的连接器通常被特别地构造用于提供特定类型的分配。因此,在分配期间所使用的连接器将影响分配的若干方面,例如,分配为泵分配还是压力分配、分配的流速如何和/或在分配之后内衬或容器中可残留有多少残余。就此而言,需要可增加在分配期间的流速和/或增加可分配材料总量的连接器。

发明内容

本公开涉及用于基于内衬的组件的新颖且有利的连接器组件。在一个实施例中,用于基于内衬的组件的连接器组件可包括压力端口、分配端口、顶部空间移除端口和锁定机构。压力端口可适于与压力源连接。分配端口可适于与待从基于内衬的组件分配的材料源形成流体连通。顶部空间移除端口可被构造成用于移除来自基于内衬的组件的气体。锁定机构可用于当基于内衬的组件的内容物处于压力下时,将连接器锁定至基于内衬的组件。在一些实施例中,可将分配端口和顶部空间移除端口可操作地联接,从而提供用于使基于内衬的组件的内衬内的内容物再循环的流动路径。

在其它实施例中,本公开涉及一种用于泵分配基于内衬的组件的内容物的方法。该方法可包括将连接器连接至基于内衬的组件。连接器可包括:压力端口,其适于与压力源连接;分配端口,其适于与待从基于内衬的组件分配的材料源形成流体连通;和顶部空间移除端口,其被构造用于移除来自基于内衬的组件的气体。该方法可进一步包括:例如使用压力辅助将基于内衬的组件的内衬中含有的顶部空间气体经由顶部空间移除端口移除;及使用泵来经由分配端口分配材料源。在一些实施例中,在将压力端口塞住的情况下,可将分配端口与顶部空间移除端口可操作地联接,从而提供用于使基于内衬的组件的内衬内的内容物再循环的流动路径。

在其它实施例中,本公开涉及一种用于分配基于内衬的组件的内容物的方法。该方法可包括将连接器连接至基于内衬的组件。连接器可包括:压力端口,其适于与压力源连接;分配端口,其适于与待从基于内衬的组件分配的材料源形成流体连通;和顶部空间移除端口,其被构造用于移除来自基于内衬的组件的气体。该方法还可包括将基于内衬的组件的内衬中含有的顶部空间气体经由顶部空间移除端口移除。可使用压力分配或压力辅助泵分配技术来分配内容物。在一个特定实施例中,本公开涉及一种用于分配基于内衬的组件的内容物的方法,该方法包括将连接器连接至基于内衬的组件,该连接器具有分配端口及至少部分地延伸至基于内衬的组件的内部空间中的汲取管,该汲取管具有至少约一英寸的直径且联接至分配端口,并且经由分配端口分配内衬的内部空间的内容物。

在其它实施例中,本公开涉及一种用于基于内衬的组件的连接器。该连接器可包括分配端口及至少部分地延伸至基于内衬的组件的内部空间中的汲取管,该汲取管具有至少约一英寸的直径且联接至分配端口以经由分配端口分配基于内衬的组件的内容物。在实施例的变型中,连接器可进一步包括顶部空间移除端口,且在一些实施例中,可将分配端口与顶部空间移除端口可操作地联接,从而提供用于使基于内衬的组件的内容物再循环的流动路径。可提供锁定机构,且该锁定机构可包括一个或多个锁定缸,该锁定缸被构造成当基于内衬的组件中达到临界压力时接合,且当基于内衬的组件中的压力低于临界压力时不接合。连接器可被构造用于间接压力分配,从而将加压气体或加压流体引入基于内衬的组件的内衬与外包装之间的环状空间中,加压气体或加压流体的力使得内衬自身坍缩(collapse upon itself)且迫使内衬的内容物经由分配端口离开。另外,汲取管可被构造成仅部分地延伸至基于内衬的组件内部中,有时称为短探针或粗短探针。

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