[发明专利]同轴驱动的真空机器人

权利要求书

1.一种机器人输送设备，包括：

包括至少一个谐波马达组件的驱动系统；

联接到所述至少一个谐波马达组件上的至少一个驱动轴；

安装到所述至少一个驱动轴上的至少一个机器人臂，其中所述机器人臂位于密封环境内；以及

至少一个大气隔离密封件，其位于所述驱动系统的输出表面上且形成大气隔层，所述大气隔层设置成以便所述至少一个驱动轴延伸穿过所述大气隔层进入所述密封环境，且所述至少一个谐波马达组件位于所述密封环境之外；

其中所述机器人输送设备为大容量有效负载输送设备。

2.根据权利要求1所述的机器人输送设备，其特征在于，所述至少一个谐波马达组件的一部分构造为用于所述至少一个大气隔离密封件的支撑面。

3.根据权利要求1所述的机器人输送设备，其特征在于，所述大气隔离密封件为铁磁流体密封件。

4.根据权利要求1所述的机器人输送设备，其特征在于，所述至少一个谐波马达组件的输出部分与所述谐波马达组件的输入部分密封地隔离开。

5.根据权利要求1所述的机器人输送设备，其特征在于，所述至少一个谐波马达组件包括线性地布置且具有公共旋转轴线的第一谐波马达组件和第二谐波马达组件，并且所述至少一个驱动轴包括第一和第二同轴驱动轴组件。

6.根据权利要求5所述的机器人输送设备，其特征在于，所述第一谐波马达组件和所述第二谐波马达组件构造成用以基本上保持所述第一驱动轴和所述第二驱动轴的同心性，以用于提供设置所述至少一个铁磁流体密封件的间隙。

7.根据权利要求5所述的机器人输送设备，其特征在于，所述机器人输送设备还包括与所述第一驱动轴和所述第二驱动轴同心地定位的第三驱动轴，并且第三谐波马达组件联接到所述第三驱动轴上。

8.根据权利要求1所述的机器人输送设备，其特征在于，所述至少一个驱动轴包括构造成用于使缆线穿过所述同轴驱动轴组件的馈入装置。

9.根据权利要求1所述的机器人输送设备，其特征在于，所述机器人臂包括滑动末端执行器布置。

10.根据权利要求1所述的机器人输送设备，其特征在于，所述驱动系统包括Z轴驱动马达。

11.根据权利要求1所述的机器人输送设备，其特征在于，所述机器人输送设备构造成用于传送大约一千克至大约二十千克的有效负载、大约十五千克至大约二十千克的有效负载、大约十五千克的有效负载，或大约二十千克的有效负载。

12.一种机器人输送设备，包括：

驱动系统，其包括至少一个马达组件，所述马达组件包括具有至少两个驱动轴的同轴驱动主轴和对应的马达转子和马达定子；以及

安装在所述同轴主轴上的至少一个线性滑动输送臂，其中所述同轴马达组件经由所述同轴主轴联接到所述至少一个滑动机器人臂上，且构造成用以基本上直接地驱动所述至少两个驱动轴，以用于实现所述至少一个线性滑动输送臂的移动；

其中所述同轴驱动主轴在密封环境中，且所述马达定子和所述马达转子中的至少一个被隔离在所述密封环境之外，且密封所述密封环境内的所述同轴驱动主轴的所有密封件是静态密封件。

13.根据权利要求12所述的机器人输送设备，其特征在于，所述至少一个线性滑动输送臂包括线性滑动末端执行器布置。

14.根据权利要求12所述的机器人输送设备，其特征在于，所述至少一个线性滑动输送臂包括一个堆叠在另一个上的至少两个末端执行器，以及基座部件，其中各个末端执行器独立于所述至少两个末端执行器中的另一个可滑动地安装到所述基座部件上。

15.根据权利要求12所述的机器人输送设备，其特征在于，所述机器人输送件还包括Z轴驱动马达。

16.根据权利要求12所述的机器人输送设备，其特征在于，所述驱动系统包括保持所述密封环境的壳体、用于各个驱动轴的定子和转子，以及至少一个静态隔离隔层，其中所述定子、所述转子和所述隔离隔层设置在所述壳体内，所述至少一个静态隔离隔层构造成使所述定子相对于所述壳体内的密封环境密封，使得所述定子位于所述密封环境之外，且所述壳体的内部保持对所述密封环境打开。