[发明专利]基板保管装置

权利要求书

1.一种基板保管装置，具备：

容器，具有收容具可挠性的基板的收容室；

窗部，设于前述容器；以及

基板搬送部，以收容在该收容室的该基板的一部分与该窗部对向的方式搬送该基板。

2.如权利要求1所述的基板保管装置，其中，该窗部配置在该容器的多处。

3.如权利要求1或2所述的基板保管装置，其中，该容器具有连接于外部装置的连接部。

4.如权利要求3所述的基板保管装置，其进一步具备视该容器与该外部装置之间的连接状态使该窗部开关的窗部驱动部。

5.如权利要求4所述的基板保管装置，其中，该连接部配置在该窗部周围。

6.如权利要求3至5中任一项所述的基板保管装置，其中，该容器具有多个壁面；该窗部及该连接部设在同一壁面。

7.如权利要求1至6中任一项所述的基板保管装置，其中，该基板搬送部具有支承与该窗部对向的该基板的一部分的支承部。

8.如权利要求1至7中任一项所述的基板保管装置，其中，该基板搬送部具有将该基板的一部分从该窗部拉出至该收容部外侧的拉出部。

9.如权利要求8所述的基板保管装置，其中，该基板搬送部具有调整部，此调整部视该拉出部的该基板的拉出状态调整在该收容室的该基板的搬送路径。

10.如权利要求1至9中任一项所述的基板保管装置，其中，该基板搬送部具有折返该基板的折返部。

11.如权利要求10所述的基板保管装置，其中，该折返部配置成将该基板折返多层。

12.如权利要求10或11所述的基板保管装置，其中，该折返部配置成与该基板的两面中的第一面接触、且不与该第一面相反侧的第二面接触。

13.如权利要求12所述的基板保管装置，其进一步具备设在该收容室、对该基板的该第二面进行处理的处理部。

14.如权利要求1至13中任一项所述的基板保管装置，其中，该基板形成为无端状。