[发明专利]用于压力分配系统中的大致圆柱形内衬及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及基于内衬的储存及分配系统。更具体地，本发明涉及与大致圆柱形外包装一起使用的内衬，由此，该内衬被构造成基本符合该外包装的内部的尺寸及形状。更具体地，本发明涉及一种内衬，该内衬包括：管状主体部分；底部部分，该底部部分被密封至管状主体部分的一端；以及顶部部分，该顶部部分被密封至管状主体部分的另一端，其中，该顶部部分还包括配件(fitment)。另外，本发明的内衬的内容物可在使用或不使用汲取管和/或阻塞防止装置(choke-off preventer)的情况下通过压力分配来分配。

背景技术

许多制造工艺需要使用超纯液体，例如酸、溶剂、基剂、光阻剂、研磨浆、清洁配制剂、掺杂剂；无机、有机、金属有机及生物溶液；医药及放射性化学品。这种应用要求超纯液体中的粒子的数目及尺寸最小。特别地，由于在微电子制造工艺的许多方面都使用了超纯液体，所以，半导体制造商已经针对工艺化学品及化学品输送设备建立了严格的粒子浓度规范。之所以需要这种规范，是因为：如果该制造工艺期间使用的液体含有高含量的粒子或气泡，这些粒子或气泡可能沉积在硅的固体表面上。这可能会导致残次品并降低质量及可靠性。

因此，这种超纯液体的储存、输送及分配要求容器能够为所留存的液体提供足够的保护。与直接加压至容器中的液体相反，诸如由ATMI,Inc.销售的分配系统的基于可塌缩内衬的容器能够通过在分配时用气体或流体加压至内衬上来减少这种气-液界面。然而，传统上，压力分配并不与某些基于内衬的系统一同使用。例如，包括转鼓或金属罐式外包装的、基于内衬的系统通常通过泵分配的方式来分配内衬的内容物。由于泵分配系统可能非常昂贵且容易损坏，所以，泵分配系统可能是不利的。

另外，由于与这些类型的基于内衬的系统相关的种种原因，内衬传统上是末端开口、鼓形的内衬或者是未构造成符合外包装的形状的封闭内衬。这种内衬可能无法提供足够的保护来免受环境条件影响。例如，末端开口的内衬的内容物暴露于环境中且可能易于受到污染。另外，这种传统内衬可能无法针对焊接中的针孔击穿及开裂而保护所留存的液体，该针孔击穿及开裂有时由内衬的、由于振动（例如输送该容器时带来的振动）导致的弹性变形而引起。在出发地与最终目的地之间，由于输送而带来的振动可以使内衬弹性变形或弯曲很多次（例如，几千至几百万次）。这种振动愈大，产生针孔及焊接开裂的可能性愈大。针孔及焊接开裂的其它原因包括：冲击效应、掉落，或容器的大幅运动。在压力分配应用中，气体可能非期望地经由针孔或焊接开裂被引入，从而随着时间的流逝而污染所留存的液体，因为将允许该气体进入溶液并且非期望地进入制造工艺中，例如，作为气泡而进入到晶圆上。

另外，传统的封闭、可塌缩的内衬被构造成能够充满规定量的液体。然而，因为内衬在容器内膨胀时会在内衬中产生褶皱，所以，内衬并不会非常贴合地装配在所述内衬各自的外容器内。所述褶皱可能妨碍液体填充在内衬的被这些褶皱占据的空间中。因此，当容器充满规定量的液体时，液体倾向于溢出该容器，从而产生液体损失。如上文所述，这种液体通常是超纯液体，例如酸、溶剂、基剂、光阻剂、掺杂剂、无机、有机及生物溶液、医药及放射性化学品，它们可能非常昂贵，例如大约$2,500/L或更贵。因此，即使少量溢出也是不希望的。

此外，用于输送某些类型的材料的封装或容器系统需要满足特定的UN DOT认证。例如，为了被认证为用于输送某些危险材料的、头部不可拆卸的容器，该容器开口的直径不可超过3英寸。因此，在多数情况下，希望设计一种可塌缩内衬以克服上述缺点，同时还能够装配在满足危险材料的UN DOT认证的容器的容器开口内。

因此，在本领域中需要用于超纯液体的较好内衬系统，所述内衬系统不包括现有的、用于大致圆柱形外包装的内衬所呈现的缺点。在本领域中需要大致圆柱形的基于内衬的储存及分配系统，该储存及分配系统解决了与针孔、焊接开裂、气体压力饱和度及溢出相关的问题，并且该储存及分配系统能够装配或非常容易地装配在通过UN DOT认证的容器的标准开口内。在本领域中还需要大致圆柱形的基于内衬的储存及分配系统，该储存及分配系统解决了与内衬中的过多褶皱（过多的褶皱可能会在内衬中产生额外的截留气体）相关的问题。在本领域中还需要被构造成限制或消除了阻塞的内衬。

发明内容