[发明专利]含有氟代醇的分子光致抗蚀剂材料及其使用方法

权利要求书

1.一种酚醛分子玻璃，其具有至少一种含氟代醇的单元。

2.根据权利要求1的酚醛分子玻璃，其中所述酚醛分子玻璃为杯芳烃。

3.根据权利要求1或2的酚醛分子玻璃，其中所述酚醛分子玻璃为结构式(I)的间苯二酚杯[4]芳烃：

其中R’包含至少一种含氟代醇的单元，R独立地选自氢和酸不稳定官能团，且X和Y各自独立地选自氢、烷基、链烯基、炔基、烷氧基、芳基、芳烷基、烷芳基、卤素、氰基、硝基和羧基。

4.根据前述权利要求中任一项的酚醛分子玻璃，其中所述至少一种含氟代醇的单元具有结构式(II)：

其中R¹为线性或支化的亚烷基、取代或未取代的脂环基、取代或未取代的亚芳基、取代或未取代的杂亚芳基、取代或未取代的杂环基；R²及R³各自独立地为氟化烷基。

5.根据前述权利要求中任一项的酚醛分子玻璃，其中R为酸不稳定官能团，其具有结构式(III)：

其中m为0至4，n为0或1，且R⁴为CR⁵R⁶R⁷或SiR⁸R⁹R¹⁰，其中R⁵、R⁶和R⁷独立地为氢、烷基、烷氧基、芳基或芳氧基，或者键合形成环烷基、环氧烷基环，且R⁸、R⁹和R¹⁰各自为烷基取代基。

6.根据前述权利要求中任一项的酚醛分子玻璃，其中R为氢。

7.一种光致抗蚀剂组合物，其包含根据前述权利要求中任一项所述的具有至少一种含氟代醇的单元的酚醛分子玻璃和光酸产生剂。

8.根据权利要求7的光致抗蚀剂组合物，其中R为氢，且所述光致抗蚀剂组合物进一步包含交联剂。

9.根据权利要求7或8的光致抗蚀剂组合物，其进一步包含颜料、敏化剂、防腐剂、酸扩散控制剂、粘合增进剂、涂布助剂、增塑剂、表面改性剂和/或溶解抑制剂。

10.一种在基质上产生光致防蚀影像的方法，其包括：

用包含光致抗蚀剂组合物的膜涂布基质，所述光致抗蚀剂组合物包含根据权利要求1-6中任一项所述的具有至少一种氟代醇官能团的酚醛分子玻璃、光酸产生剂和溶剂；

将所述膜成像曝光于辐射以在其中形成潜在影像；和

将所述光致防蚀影像用碱性含水显影剂显影。

11.根据权利要求10的方法，其中R为氢，且所述光致抗蚀剂组合物进一步包含交联剂。

12.根据权利要求10或11的方法，其中将所述膜成像曝光于辐射之后且显影之前，将膜加热至25-l50℃的温度。

13.根据权利要求10-12中任一项的方法，其中所述辐射为紫外线辐射、X-射线、远紫外线或电子束。

14.根据权利要求10-13中任一项的方法，其进一步包含颜料、敏化剂、防腐剂、酸扩散控制剂、粘合增进剂、涂布助剂、增塑剂、表面改性剂和/或溶解抑制剂。