[发明专利]线锯的浆料管理装置

说明书

技术领域

本发明涉及向固定磨粒线锯供给的浆料的调整较容易并且能够实现稳定的切断的线锯的浆料管理装置。

背景技术

以往，作为用来将切断对象工件（例如硅锭）切断而形成晶片的装置而使用线锯。在该线锯中，有下述自由磨粒线锯：使施加了张紧的较细的金属线列行进，一边对该金属线列喷吹浆料一边将被切断物推抵在金属线列上，由此将被切断物同时切断为多片晶片状，所述浆料使将切削热除去的冷却剂中含有用来进行切削的磨粒（例如，参照专利文献1）。

此外，近年来，有下述固定磨粒线锯：使用在较细的金属线的表面上预先附着了金刚石磨粒等的固定磨粒金属线列，一边对该金属线列喷吹作为冷却剂的浆料一边将被切断物推抵在金属线列上，由此将被切断物同时切断为多片晶片状（例如，参照专利文献2）。

在上述自由磨粒线锯及固定磨粒线锯中，为了将硅锭切断而形成许多晶片，一般在从切断作业的开始到结束之间用1个批次操作进行。此外，关于来自这样的线锯的浆料废液，为了资源的有效利用、废弃物的减量化等，研究了通过进行分离回收再利用而实现的浆料管理。

在上述自由磨粒线锯中，由于将在冷却剂中混合有磨粒的浆料向金属线供给而将硅锭切断，所以从自由磨粒线锯排出的浆料废液为在冷却剂中混合有磨粒（SiC）和切屑（Si）的状态。因此，为了将这样的浆料废液分离回收，将浆料废液分离为冷却剂和固态成分，并且将固态成分遵循磨粒=回收、切屑=废弃的两阶段进行分离。这里，在要进行连续分离的情况下，需要将浆料废液连续地抽出、一边监视其抽出量和各自的回收量一边进行磨粒的回收、切屑的废弃、新冷却剂与新磨粒的调合、再生浆料的返送这样的复杂的操作，有管理较困难的问题。因此，来自自由磨粒线锯的浆料废液的浆料管理一般主流为批次式。

此外，在上述固定磨粒线锯中，由于将仅由冷却剂构成的浆料向固定磨粒金属线供给而将硅锭切断，所以从固定磨粒线锯排出的浆料废液为在冷却剂中混合了被切削的硅粒子等的结构。

专利文献1：特开平11－309674号公报

专利文献2：特开2010－29998号公报。

发明内容

在上述固定磨粒线锯中，已知与上述自由磨粒线锯相比能够大幅提高切断速度，由于切断速度较快，所以如果不精度良好地控制浆料的品质（即，相对于根据浆料中的固态成分的比重得到的浓度考虑到根据固态成分的粘度得到的粒径的表示切断性的浆料浓度），则有切断品质不稳定的问题。即，即使浆料中的固态成分的浓度较高，在固态成分的粒径较小、粘度较高的情况下切断性也下降。在批次式的浆料管理中，由于切断开始时和切断结束时的浆料浓度较大地变化，切断品质变化，所以难以在固定磨粒线锯的浆料废液的管理中采用批次式。此外，为了使用批次式将稳定的品质的浆料向固定磨粒线锯供给，需要预先储存大量的浆料，所以有设备及成本增加的问题。

因此，在固定磨粒线锯的浆料废液的管理中，希望将使用少量的浆料切断的浆料废液连续分离而再利用的管理，但以往关于能够从浆料废液容易而稳定地分离固体粒子、并且能够将调整为适合于切断的浆料浓度的浆料向固定磨粒线锯稳定供给的浆料的管理不存在公开的技术。

本发明的目的在于提供一种鉴于上述以往的问题点而做出的、向固定磨粒线锯供给的浆料的调整较容易并且能够实现稳定的切断的线锯的浆料管理装置。

为了达到上述目的，本发明的线锯的浆料管理装置的特征在于，具备：第1槽，承接来自固定磨粒线锯的浆料废液并储存；离心分离机，将该第1槽的浆料废液导入，将固体粒子分离；第2槽，承接由该离心分离机分离了固体粒子的含固态成分的浆料并储存；浆料供给系统路径，将该第2槽的浆料向上述固定磨粒线锯供给；比重计及粘度计，装备在将上述第2槽的浆料取出并循环的循环流路上；控制器，将上述比重计的比重检测值和上述粘度计的粘度检测值取入，检测浆料浓度，所述浆料浓度相对于根据浆料中的固态成分的比重得到的浓度，考虑到根据固态成分的粘度得到的粒径；浆料排出系统路径，将第2槽的浆料的一部分作为废浆料排出；新浆料供给系统路径，将新浆料向上述第2槽供给；上述控制器进行通过上述浆料排出系统路径的废浆料的排出和通过新浆料供给系统路径的新浆料的供给，以使上述检测出的浆料浓度保持规定浓度。

在上述线锯的浆料管理装置中，优选的是，在上述第1槽中具备旋风分离机；将来自上述固定磨粒线锯的浆料废液向旋风分离机引导，将提高了固体粒子的浓度的浆料废液向上述离心分离机供给。

此外，在上述线锯的浆料管理装置中，优选的是，上述规定浓度是能够进行通过固定磨粒线锯的稳定切断的最大浓度。