[发明专利]搬运机器人、其基板搬运方法、以及基板搬运中转装置

说明书

技术领域

本发明涉及搬运基板的搬运机器人、以及其基板搬运方法。

又，本发明涉及将在两个搬运机器人之间被传递的基板进行中转的基板搬运中转装置。

背景技术

对基板实施加工处理的基板处理系统是已知的。基板处理系统具备移送机器人、搬运机器人和基板搬运中转装置。移送机器人形成为在FOUP（front opening unified pod；前开式晶圆传送盒）和基板搬运中转装置之间移送基板的结构，并且搬运机器人形成为在进行加工处理的腔室和基板搬运中转装置之间搬运基板的结构。而且，基板搬运中转装置可载置移送及搬运过来的基板地构成，并且辅助在移送机器人和搬运机器人之间的基板的传递。

作为这样的基板处理系统的搬运机器人的一个示例，具有例如像专利文献1记载的那样的基板搬运用机器人。该基板搬运用机器人具有两个手部，并且在这两个手部上可以分别放置一个基板并保持。基板搬运用机器人用一方的手部接收例如位于基板搬运中转装置上的一个基板，而使另一方的手部处于空闲状态。之后，基板搬运用机器人使另一方的手部移动至腔室并接收位于腔室内的处理后的基板，接着将一方的手部上保持的基板放置到该腔室内。而且，使两个手部再次返回至基板搬运中转装置，并且使另一方的手部上保持的基板返回至传递装置，并且用一方的手部接收基板。

又，作为基板处理系统的搬运机器人的又一示例，具有例如像专利文献2记载的那样的基板处理装置。该基板处理装置具备加载锁定腔室（load lock chamber）部。加载锁定腔室部具有相当于基板搬运中转装置的缓冲单元，通过该缓冲单元的板载置从FOUP搬运过来的基板。又，板在上下方向上可升降，并且通过使板上升，转送室部所具备的转送模块能够接收载置于板上的基板。

现有技术文献：

专利文献1：日本特开2003-179119号公报；

专利文献2：日本特开2010-206139号公报。

发明内容

发明要解决的问题：

在基板处理系统中，要求缩短基板制造工序中所花费的制造时间。然而，缩短处理基板的处理时间是困难的，因此要求通过缩短基板的搬运时间而缩短制造时间。作为专利文献1记载的基板搬运用机器人中缩短搬运时间的方法，想到了通过提高两个手部的移动速度而缩短时间的方法。但是，从位置精度和控制精度等的观点考虑时移动速度也有上限值，并且通过提高移动速度能够缩短的搬运时间也有限度。然而，在基板处理系统中，要求进一步缩短搬运时间。

又，作为专利文献2记载的基板处理装置中缩短搬运时间的方法，想到了通过提高移送机器人及搬运机器人的移动速度缩短时间的方法。然而，从位置精度和控制精度等的观点考虑时移动速度也有上限值，并且通过提高移动速度能够缩短的搬运时间也有限度。

因此，本发明的目的是提供即使不提高移动速度也可以缩短搬运时间的搬运装置、使用该装置的搬运方法、以及基板搬运中转装置。

解决问题的手段：

本发明的搬运机器人具备：具有用于分别保持基板的多个保持部的第一手部；具有用于分别保持基板的多个保持部的第二手部；和使所述第一手部及所述第二手部分别移动至放置有所述基板的待机位置及彼此不同的多个搬运位置的移动装置。

根据本发明，在待机位置上，例如通过第一手部的多个保持部可以一次接收多个基板，并且通过第二手部的多个保持部可以一次转移多个基板。因此，例如可以连续地转移保持在第一手部上的基板，或者可以通过第二手部连续地接收基板，而在多个位置上传递结束后再次回到待机位置上即可。借助于此，在整个搬运过程中的第一手部及第二手部的移动距离可以变短，可以缩短直至对整个搬运位置搬运基板的搬运时间。

在上述发明中，优选的是所述移动装置形成为在所述第一手部的多个保持部上保持并接收置于所述待机位置上的多个基板，之后，将保持在所述保持部上的所述多个基板对各搬运位置依次转移，同时通过所述第二手部的保持部接收置于所述各搬运位置上的基板的结构。

根据上述结构，可以对其他的多个搬运位置连续地执行基板的接收作业。因此，无需每当进行向各搬运位置的搬运作业时返回到待机位置并在第一手部上保持基板，或者每当此时将在第二手部上保持的基板放到待机位置，而能够对各搬运位置连续地进行接收作业。因此，可以缩短第一手部及第二手部的移动距离，可以缩短直至对所有搬运位置搬运基板的搬运时间。