[发明专利]阻气性塑料成型体的制造方法

权利要求书

1.一种阻气性塑料成型体的制造方法，其在塑料成型体的表面上形成阻气薄膜，其特征在于，该制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用以通式(化学式1)所表示的有机硅烷系化合物作为主要原料气、使用氧化气体作为添加气、并且使用包含钽(Ta)作为主要组成元素的发热体，利用发热体CVD法在上述塑料成型体的表面上形成所述阻气薄膜，

(化学式1)  H₃Si-Cn-X

在化学式1中，n为2或3；X为SiH₃、H或NH₂。

2.如权利要求1所述的阻气性塑料成型体的制造方法，其特征在于，所述有机硅烷系化合物为乙烯基硅烷。

3.如权利要求1或2所述的阻气性塑料成型体的制造方法，其特征在于，所述氧化气体包含二氧化碳。

4.如权利要求3所述的阻气性塑料成型体的制造方法，其特征在于，所述二氧化碳与所述有机硅烷系化合物的混合比为6∶100～260∶100。

5.如权利要求1或2所述的阻气性塑料成型体的制造方法，其特征在于，所述氧化气体包含氧，并且所述氧与所述有机硅烷系化合物的混合比为4∶100～130∶100。

6.如权利要求1～5任一项所述的阻气性塑料成型体的制造方法，其特征在于，所述塑料成型体为膜、片材或容器。

7.如权利要求1～6任一项所述的阻气性塑料成型体的制造方法，其特征在于，所述发热体为金属钽、钽基合金或碳化钽。

8.如权利要求1～7任一项所述的阻气性塑料成型体的制造方法，其特征在于，在所述成膜工序之后，具有发热体的再生工序，在所述发热体的再生工序中，向气氛中供给氧化气体并对发热体进行加热。