[发明专利]多晶硅铸锭铸造用铸模及其制造方法、以及多晶硅铸锭铸造用铸模的脱模材料用氮化硅粉末及含有该粉末的浆料有效
| 申请号： | 201180062815.7 | 申请日： | 2011-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN103347814A | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | 山尾猛;藤井孝行;治田慎辅 | 申请（专利权）人： | 宇部兴产株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/02 | 分类号： | C01B33/02;B22C1/00;B22C3/00;C01B21/068 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 庞东成;褚瑶杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 铸造 铸模 及其 制造 方法 以及 脱模 材料 氮化 粉末 含有 浆料 | ||
1.一种多晶硅铸锭铸造用铸模的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括：
浆料形成工序，以重量比例计，将平均短轴粒径为0.6μm～13μm且含氧量为0.3wt%～1.0wt%的氮化硅粉末(A)和平均短轴粒径为0.1μm～0.3μm且含氧量为1.3wt%～20wt%的氮化硅粉末(B)按照5:5～9:1混配得到氮化硅粉末，将所述氮化硅粉末混合到水中而形成浆料；
浆料涂布工序，将所述浆料涂布于铸模表面；和
加热工序，在所述浆料涂布工序之后，在含氧的气氛下在400℃～800℃对铸模进行加热。
2.如权利要求2所述的具有脱模层的多晶硅铸锭铸造用铸模的制造方法，其特征在于，其进一步还包括水分渗透工序，使涂布于所述铸模表面的浆料的水分渗透到铸模内，所述加热工序在该水分渗透工序后进行。
3.一种多晶硅铸锭铸造用铸模的脱模材料用氮化硅粉末，其特征在于，以重量比例5:5～9:1含有平均短轴粒径为0.6μm～13μm且含氧量为0.3wt%～1.0wt%的氮化硅粉末(A)和平均短轴粒径为0.1μm～0.3μm且含氧量为1.3wt%～20wt%的氮化硅粉末(B)。
4.一种含有多晶硅铸锭铸造用铸模的脱模材料用氮化硅粉末的浆料，其特征在于，将权利要求3所述的氮化硅粉末混合到水中。
5.一种多晶硅铸锭铸造用铸模，其特征在于，在铸模内面有使用权利要求3所述的氮化硅粉末形成的脱模层。
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