[发明专利]电子器件和用于制造电子器件的方法

权利要求书

1.电声器件，具有层序列，所述层序列至少包括

-第一电极(10)，

-第二电极(20)，和

-有源区域(30)，所述有源区域与所述第一电极(10)和所述第二电极(20)电耦合，

其中所述层序列至少在子区域中包含石墨烯，其中所述石墨烯设置成单层或多层并且作为绝缘的层或作为相互叠置的层存在，并且其中所述有源区域(30)包括压电层并且所述第一电极(10)和/或所述第二电极(20)至少在子区域中包含石墨烯，

其中所述第一电极(10)和所述第二电极(20)设置在所述压电层的一侧上或者设置在所述压电层的相对置的侧上，并且

所述电声器件构成为基于表面波的器件或构成为基于体积波的器件，

其中所述层序列还包括至少一个第一反射层(51)和至少一个第二反射层(52)，所述至少一个第二反射层(52)是电绝缘的并且包括化学改性的石墨烯，其中所述化学改性的石墨烯包括借助氧来加工的石墨烯，使得所述石墨烯具有绝缘特性。

2.根据权利要求1所述的电声器件，其中所述第一电极(10)和所述第二电极(20)中的至少一个包括多个相互叠置的层，在所述多个相互叠置的层中的至少一个层包含石墨烯。

3.根据权利要求2所述的电声器件，其中所述第一电极(10)和所述第二电极(20)的所述至少一个包含石墨烯的层与包含选自下列的材料的至少一个层进行组合：Ti、Mo、由Ti与Mo组成的混合物、Ru、Pt、W、Al、Cu和由Al与Cu组成的混合物。

4.根据权利要求1所述的电声器件，其中所述至少一个第一反射层(51)具有高的声阻抗，和所述至少一个第二反射层(52)具有低的声阻抗，所述电声器件还包括衬底(40)，其中所述至少一个第一反射层(51)和所述至少一个第二反射层(52)设置在所述衬底(40)和所述第一电极(10)之间。

5.根据权利要求4所述的电声器件，其中至少一个第一反射层(51)包含W。

6.根据权利要求4所述的电声器件，其中所述至少一个第二反射层(52)设置在所述至少一个第一反射层(51)和所述第一电极(10)之间。

7.用于制造根据权利要求1至6中任一项所述的电声器件的方法，其中石墨烯借助于选自下列的方法来施加：化学气相沉积、物理气相沉积、在溶液中施加和表面化学反应。