[发明专利]光加工装置

权利要求书

1.一种光加工装置，其对工件的加工面照射光束，而对该加工面进行加工，其特征在于，包括：

输出源，其输出所述光束；

光束移动单元，其使由所述输出源输出的所述光束移动；和

多个反射镜，其设置于所述光束移动单元和所述加工面之间的所述光束的光路中，反射由所述光束移动单元移动的所述光束，并引导至所述加工面，

所述多个反射镜被设定有与所述光束的入射方向相应的倾斜角度，以将由所述光束移动单元移动的所述光束大致垂直地引导至所述加工面的不同位置。

2.根据权利要求1所述的光加工装置，其特征在于，

所述多个反射镜配置于，从所述输出源经所述多个反射镜到所述加工面的各光路长度大致相等的位置。

3.根据权利要求1或2所述的光加工装置，其特征在于，

具有加工图案设定单元，其设置于所述多个反射镜和所述加工面之间，用于设定照射到所述加工面的所述光束的加工图案。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的光加工装置，其特征在于，

具有多个分配镜，其设置于所述光束移动单元和所述多个反射镜之间，用于反射由所述光束移动单元移动的所述光束，并分配给所述多个反射镜。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的光加工装置，其特征在于，

具有聚光透镜，其设置于所述多个反射镜与所述加工面之间，使所述光束聚光于所述加工面。

6.根据权利要求5所述的光加工装置，其特征在于，具有：

透镜移动单元，其使所述聚光透镜沿所述加工面移动；和

位置控制单元，其控制所述透镜移动单元，而进行对所述加工面上的所述光束的汇聚点的位置控制。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的光加工装置，其特征在于，具有：

控制光束照射单元，其向所述加工面照射与所述光束同轴的控制光束；

控制光束检测单元，其检测由所述加工面反射的所述控制光束；和

光束控制单元，其根据由所述控制光束检测单元检测的所述控制光束，控制所述加工面上所述光束的照射位置及∕或所述光束的输出。

8.根据权利要求1～6中任一项所述的光加工装置，其特征在于，具有：

摄像机，其拍摄所述加工面的图像；和

光束控制单元，其根据由所述摄像机拍摄的图像，控制所述加工面上的所述光束的照射位置。