[发明专利]压电元件、液体排出头、超声马达和灰尘去除装置

权利要求书

1.一种压电元件，包括：

一对电极；和

被设置为与所述一对电极接触的压电材料，

其中，所述压电材料包含以钛酸钡为主要成分的晶粒的集合体，并且，

所述集合体的晶粒之中的至少与电极接触的晶粒在粒内具有位错层。

2.根据权利要求1所述的压电元件，

其中，在具有位错层的晶粒之中的沿与电极垂直的方向分别具有2μm或更大的粒径R的晶粒中，所述位错层分别具有等于或小于R的厚度D。

3.根据权利要求1或2所述的压电元件，

其中，所述位错层在晶粒中的每一个中沿相同的方向被极化。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的压电元件，

其中，与电极中的每一个接触的压电材料的表面部分的杨氏模量比整个压电材料的杨氏模量低。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的压电元件，

其中，压电材料包含锰成分。

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的压电元件，

其中，压电材料具有50μm～10mm的范围中的厚度。

7.一种液体排出头，使用根据权利要求1～6之一所述的压电元件。

8.一种超声马达，使用根据权利要求1～6之一所述的压电元件。

9.一种灰尘去除装置，使用根据权利要求1～6之一所述的压电元件。