[发明专利]用于工艺盒的装载和卸载方法无效

专利信息
申请号: 201180064756.7 申请日: 2011-11-11
公开(公告)号: CN103283012A 公开(公告)日: 2013-09-04
发明(设计)人: M.希尔普;A.齐茨曼;J.齐默曼 申请(专利权)人: 齐默尔曼和席尔普搬运技术有限责任公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 梁冰;杨国治
地址: 德国雷*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 用于 工艺 装载 卸载 方法
【权利要求书】:

1. 用于一工艺盒(1)的装载和卸载方法,所述装载和卸载方法具有下列方法步骤:

a. 提供一能够借助一拆卸和安装机器人来拆卸和安装的工艺盒(1),

b. 以如下方式自动化地拆卸所述工艺盒,使得所述工艺盒的底板(2)分开地存在,

c. 将所述底板(2)朝至少一个装备自动机进行供给并且分配,所述装备自动机将所述底板(2)以待加工的工件进行装备,

d. 将装备好的底板(2)朝所述工艺盒(1)进行安装,

e. 将所述工艺盒(1)朝工艺地点进行供给,在所述工艺地点处应该实施所述工艺,

f. 实施所述工艺,

g. 将所述工艺盒(1)朝所述拆卸和安装机器人或者另一个拆卸和安装机器人进行供给,

h. 以如下方式拆卸所述工艺盒,使得所述工艺盒的底板(2)分开地存在,并且

i. 自动化地取出加工好的工件。

2. 按照权利要求1所述的装载和卸载方法,其中,所述工艺盒设置用于一等离子涂层工艺。

3. 按照权利要求1所述的装载和卸载方法,其中,所述工艺盒设置用于一静电的涂漆工艺。

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