[发明专利]探针卡的热稳定化方法和检查装置

权利要求书

1.一种探针卡的热稳定化方法，在该热稳定化方法中，在使用检查装置以规定的温度对被检查体进行电特性检查之前，在载置台上载置热传递用基板，借助由温度调整机构来进行温度调整的上述载置台上的热传递用基板，将探针卡的温度调整到规定的温度，并且，在借助升降驱动机构使上述载置台升降而将上述热传递用基板与多个探针之间的接触载荷控制在规定的目标载荷的同时使上述探针卡热稳定，该检查装置包括：上述载置台，其能够沿水平方向和上下方向移动；上述探针卡，其配置在上述载置台的上方并具有上述多个探针；升降驱动机构，其用于使上述载置台升降；温度调整机构，其用于调整上述载置台的温度；以及控制装置，其用于控制上述升降驱动机构和上述温度调整机构，其特征在于，

该热稳定化方法包括以下工序：

第1工序，在该工序中，将上述热传递用基板载置于上述载置台，借助上述载置台来调整上述热传递用基板的温度；

第2工序，在该工序中，使上述载置台上升而使上述热传递用基板与上述多个探针以规定的目标载荷相接触；

第3工序，在该工序中，对上述热传递用基板与上述多个探针之间的、随着上述探针卡的热量因该探针卡与上述热传递用基板之间授受热量所产生的变化而变化的接触载荷进行检测；以及

第4工序，在该工序中，借助上述升降驱动机构对上述载置台进行升降控制，以使上述接触载荷成为上述规定的目标载荷直到上述探针卡达到热稳定为止。

2.根据权利要求1所述的探针卡的热稳定化方法，其特征在于，

借助用于上述升降驱动机构的电动机的扭矩电压来检测上述接触载荷。

3.根据权利要求1所述的探针卡的热稳定化方法，其特征在于，

对上述载置台进行过驱动来获得上述目标载荷。

4.根据权利要求1所述的探针卡的热稳定化方法，其特征在于，

作为上述热传递用基板，采用热传导性优异的材料。

5.一种检查装置，其包括：载置台，其能够沿水平方向和上下方向移动；探针卡，其配置在上述载置台的上方并具有多个探针；升降驱动机构，其用于使上述载置台升降；温度调整机构，其借助上述载置台来调整上述热传递用基板的温度；以及控制装置，其用于控制上述升降驱动机构和上述温度调整机构，该检查装置在以规定的温度对被检查体进行电特性检查之前，在上述载置台上载置热传递用基板，借助由上述温度调整机构来进行温度调整的上述载置台上的热传递用基板，将上述探针卡的温度调整到规定的温度，并且，在借助上述升降驱动机构使上述载置台升降而将上述热传递用基板与上述多个探针之间的接触载荷控制在规定的目标载荷的同时使上述探针卡热稳定，其特征在于，

该检查装置还包括用于检测上述接触载荷的载荷检测器，

上述控制装置根据来自上述载荷检测器的信号而借助上述升降驱动机构对上述载置台进行升降控制，直到上述探针卡达到热稳定而上述接触载荷不自上述目标载荷发生变化为止。

6.根据权利要求5所述的检查装置，其特征在于，

对上述载置台进行过驱动来获得上述目标载荷。

7.根据权利要求5所述的检查装置，其特征在于，

上述热传递用基板由热传导性优异的材料形成。