[发明专利]用于致动器阵列的个别寻址和噪声降低的装置和方法

权利要求书

1.一种用于生成目标物理效应的装置，所述目标物理效应的至少一个属性对应于周期性取样的数字输入信号的至少一个特性，所述装置包括：

许多静电致动器元件，每个静电致动器元件包括在第一电极与第二电极之间移动的移动元件，所述许多静电致动器元件包括致动器元件的Nr个第一子集（R子集）和致动器元件的Nc个第二子集（C子集），其中所述许多致动器元件的第一划分产生所述Nr个第一子集（R子集），并且所述许多致动器元件的第二划分产生所述Nc个第二子集（C子集）；

第一多个Nr电气连接件（R布线），其使每个R子集中的致动器元件的所述移动元件互连，以使得每个个别R子集中的任何致动器元件的所述移动元件电连接到所述个别R子集中的所有其他致动器元件的所述移动元件，并且与未在所述个别R子集中的所有致动器元件的所述移动元件电隔离；

第二多个Nc电气连接件（A布线），其使每个C子集中的致动器元件的所述第一电极互连，以使得每个个别C子集中的任何致动器元件的所述第一电极电连接到所述个别C子集中的所有其他致动器元件的所述第一电极，并且与未在所述个别C子集中的所有致动器元件电隔离；

第三多个Nc电气连接件（B布线），其使每个C子集中的致动器元件的所述第二电极互连，以使得每个个别C子集中的任何致动器元件的所述第二电极电连接到所述个别C子集中的所有其他致动器元件的所述第二电极，并且与未在所述个别C子集中的所有致动器元件电隔离；以及

电连接到所述第一、所述第二和所述第三多个电气连接件的控制器，其可操作以接收数字输入信号，以及向所述电气连接件中的每个分别施加电势的预定有限集中的一个，以使得所述移动元件的所得移动一起产生所述所需的物理效应。

2.如权利要求1所述的装置，其中所述控制器可操作以根据所述数字输入信号确定用于分别施加到所述第一多个Nr电气连接件（R布线）的Nr元组的电势、用于分别施加到所述第二多个Nc电气连接件（A布线）的第一Nc元组的电势，以及用于分别施加到所述第三多个Nc电气连接件(B布线）的第二Nc元组的电势。

3.如权利要求2所述的装置，其中所述控制器确定所述Nr元组、所述第一Nc元组和所述第二Nc元组，以使得所述电势到所述第一、所述第二和所述第三多个电气连接件的施加分别使所述许多致动器元件的所述移动元件产生对应于所述数字输入信号的至少一个特性的物理效应。

4.如权利要求1所述的装置，其中每个移动元件响应于所述控制器施加的电势而可操作以从与所述第二电极相比更接近所述第一电极的第一极限位置，移动到与所述第一电极相比更接近所述第二电极的第二极限位置，并且返回。

5.如权利要求1所述的装置，其中致动器元件的所述第一子集的任何个别子集与致动器元件的所述第二子集的任何个别子集的交点全部包括一致数量的致动器元件。

6.如权利要求5所述的装置，其中致动器元件的所述一致数量为一个。

7.如权利要求5所述的装置，其中致动器元件的所述一致数量为大于一个。

8.如权利要求2所述的装置，其中电势的所述预定有限集包括电势值的第一有限集和第二有限集，并且其中：

所述Nr元组的电势选自电势值的所述第一有限集；以及

所述第一Nc元组的电势和所述第二Nc元组的电势选自电势值的所述第二有限集。

9.如权利要求8所述的装置，其中电势值的所述第一有限集和所述第二有限集的至少一个成员为零（接地）。

10.如权利要求8所述的装置，其中电势值的所述第一有限集和所述第二有限集中的每个包括为零（接地）的成员。

11.如权利要求8所述的装置，其中电势值的所述第一有限集和所述第二有限集中的至少一个精确具有两个值。

12.如权利要求8所述的装置，其中电势值的所述第一有限集和所述第二有限集二者精确具有两个值。

13.如权利要求8所述的装置，其中电势值的所述第一有限集和所述第二有限集中的至少一个精确具有三个值。

14.如权利要求8所述的装置，其中电势值的所述第一有限集的至少一个成员等于电势值的所述第二有限集的至少一个成员。