[发明专利]非接触运送装置

说明书

技术领域

本发明涉及非接触运送装置，特别涉及在大型的液晶显示器（LCD）和/或等离子显示器（PDP）等FPD（平板显示器）和/或太阳能电池板（太阳能板）等的生产中使用的非接触运送装置。

背景技术

以往，在FDP和/或太阳能电池板等的生产时，采用通过使一个板大型化来提高生产效率的方法。例如，在液晶面板的情况下，第十代为2850×3050×0.7mm的大小。因此，如果像以往那样在排列多个的辊上装载液晶玻璃来滚动运送，则由于支撑辊的轴的弯曲和/或辊高度的尺寸波动而在液晶玻璃上局部地作用较强的力，有可能损伤该液晶玻璃。

由上述辊所形成的滚动运送装置不能在要求该装置和面板为非接触的例如FPD的处理步骤中采用，近年来，开始采用空气浮起的运送装置。作为非接触运送装置，存在在板状的运送轨道的一部分使用多孔质材料（多孔质烧制金属等）并使其与空气供给路径连通来进行供气、从而通过喷出空气使FPD浮起运送的装置。然而，如果使用该非接触运送装置，则FPD成为一边在上下方向上移动一边浮游的状态，因此，虽然可用于运送步骤，但是，根本不能在例如要求30～50μm的高精度的浮起高度的处理步骤中采用。

此外，当在使用上述多孔质材料的板状运送轨道以高精度维持浮起量为目的而设置抽真空用的孔时，装置的构成变得复杂并且装置自身变得高价，另外，当为了高精度维持浮起高度而提高供气压力时，发生与高刚性空气的压缩性相关的自激振动，存在不能高精度地保持浮起高度的问题。

再有，虽然也存在与抽真空用的孔交错地穿设了锐孔（小径的孔）来代替多孔质材料的装置，但是，因来自锐孔的较强的喷出空气产生静电、或者扰乱净室的环境，存在消耗电流增大而使运转成本增加的问题。

于是，在专利文献1中，作为流体流量及能量消耗量少、可高精度地维持浮起高度的非接触运送装置，提出了下述非接触运送装置：在运送轨道的运送面具备两个以上回旋流形成体，该回旋流形成体通过从流体喷出口喷出流体而在环状部件的表面侧产生朝向从该表面侧远离的方向的回旋流，并且在环状部件的表面侧的开口部附近产生朝向背面方向的流体流。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际专利申请公开第2009/119377号公报。

发明内容

发明所要解决的问题

虽然上述专利文献1记载的非接触运送装置是在环状部件的表面侧产生朝向从该表面侧远离的方向的回旋流而使运送物（面板等）浮起的装置，而回旋流的中心部产生负压且在具有可防止运送物的过度浮起的效果。另一方面也发现了运送物的端部的振幅增大的缺点以及如果处理步骤中的基于回旋流所产生的负压和抽真空的负压重叠则基于回旋流所产生的浮起功能消失、会局部地与运送轨道接触的不良情况。

此外，也发现通过将抽真空用的孔用连通的一条连续的吸引路径连接、将与该吸引路径结合的一个真空吸引口设为开闭状态，真空压力变化、被运送物的浮起量的变化增大的问题。

本发明鉴于上述问题而研制，其目的是提供可防止负压的产生且可减小被运送的被运送物的端部的振幅、并且可增大浮起量且也可通过真空吸引口的开闭操作来极力减小被运送物的浮起量的变化的非接触运送装置。

用于解决问题的技术方案

为实现上述目的，本发明的非接触运送装置，其特征在于，包括运送轨道和上升流形成体，该运送轨道包括上板、中板和下板，该上板中沿长度方向及宽度方向交错地具备多个收纳孔部和吸引孔，该收纳孔部具备：具有在上表面开口的俯视为圆形的开口部的圆筒壁面部；和从该圆筒壁面部经由环状肩部而扩径并在下表面开口的扩径圆筒壁面部，该吸引孔与该收纳孔部相邻地穿设并在上、下表面开口，该中板具备：在上表面开口且与所述上板的各收纳孔部连通的连续的空气供给路径；一端部向该空气供给路径开口而另一端部在下表面开口的连通孔；和与该连通孔相邻、一端部与所述上板的吸引孔连通而另一端部在下表面开口的通孔，该下板具有：与该中板的连通孔结合的一个空气供给口；在上表面开口且与所述中板的通孔连通的空气吸引路径；和与该空气吸引路径结合的真空吸引口，该上升流形成体安装于该运送轨道的上板的收纳孔部，形成于所述下板的空气吸引路径沿长度方向被分割为至少两个以上块部，在各块部的空气吸引路径分别结合一个真空吸引口。