[发明专利]固体摄像装置有效
申请号: | 201180065655.1 | 申请日: | 2011-10-31 |
公开(公告)号: | CN103329271A | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 高木慎一郎;米田康人;铃木久则;村松雅治 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H01L27/148;H04N5/335 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固体 摄像 装置 | ||
技术领域
本发明涉及一种固体摄像装置。
背景技术
作为固体摄像装置,公开有分别具有对应于光入射而产生电荷且平面形状成由两条长边与两条短边形成的大致矩形状的光感应区域以及相对于光感应区域形成沿着平行于形成光感应区域的平面形状的长边的规定的方向而提高的电位梯度的电位梯度形成区域,并且具备以沿着与规定的方向交叉的方向的方式并置的多个光电转换部及分别与光电转换部对应且配置于形成光感应区域的平面形状的另一方的短边侧并存储对应的光电转换部的光感应区域中产生的电荷的多个电荷存储部的固体摄像装置(例如,参照专利文献1)。这样的固体摄像装置,一直以来使用于各种的用途中,特别是作为分光器的光检测单元而广泛使用。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2009-272333号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
然而,近年来,特别是针对SD-OCT(光断层摄像装置)等的面向医疗用途的固体摄像装置,要求动态范围的提高与诊察时间的减少的兼备。动态范围可通过增大各电荷存储部的饱和电荷量而增大。诊察时间可通过使直线速率高速化而减少。
但是,饱和电荷量的增大与直线速率的高速化存在所谓折衷选择的关系。即,若为了增大饱和电荷量而欲扩大光感应区域而增加产生的电荷,则存储自光感应区域排出的电荷的电荷存储部的面积也有必要扩大。在扩大电荷存储部的面积的情况下,由于与规定的方向交叉的方向的长度受像素间距的制约,因此必须加长规定的方向的长度。若在规定的方向上加长电荷存储部,则电荷存储部内的电荷的传送会费时,从而导致直线速率降低。
本发明是有鉴于上述的问题而完成的发明,其目的在于提供一种不牺牲直线速率而可提高饱和电荷量的固体摄像装置。
解决问题的技术手段
本发明所涉及的固体摄像装置,包含:多个光电转换部,其分别具有光感应区域及电位梯度形成区域,并且以沿着与规定的方向交叉的方向的方式并置,该光感应区域对应于光入射而产生电荷且平面形状成由两条长边与两条短边形成的大致矩形状,该电位梯度形成区域相对于光感应区域形成沿着平行于形成光感应区域的平面形状的长边的规定的方向而提高的电位梯度;多个电荷存储部,其分别对应于光电转换部且配置于形成光感应区域的平面形状的另一方的短边侧,并存储所对应的光电转换部的光感应区域中产生的电荷;及电荷输出部,其获取自多个电荷存储部分别传送的电荷,并向与规定的方向交叉的方向传送并输出;电荷存储部包含至少两个栅极,该至少两个栅极沿规定的方向配置且以向规定的方向提高电势的方式分别被赋予规定的电位。
在本发明所涉及的固体摄像装置中,在各电荷存储部产生向规定的方向提高的电势的高低差。因此,电荷受支配于该电势的高低差而移动,从而使电荷存储部的电荷的传送速度高速化。因此,即使为了提高饱和电荷量而较长地设定电荷存储部的在规定的方向上的长度,也可抑制电荷存储部内的电荷的传送时间增长。其结果,可防止直线速率降低。
本发明所涉及的固体摄像装置,包含:多个光电转换部,其分别具有光感应区域及电位梯度形成区域,并且以沿着与规定的方向交叉的方向的方式并置,该光感应区域对应于光入射而产生电荷且平面形状成由两条长边与两条短边形成的大致矩形状,该电位梯度形成区域相对于光感应区域形成沿着平行于形成光感应区域的平面形状的长边的规定的方向而提高的电位梯度;多个电荷存储部,其分别对应于光电转换部且配置于形成光感应区域的平面形状的另一方的短边侧,并存储所对应的光电转换部的光感应区域中产生的电荷;及电荷输出部,其获取自多个电荷存储部分别传送的电荷,并向与规定的方向交叉的方向传送并输出;电荷存储部包含至少两个栅极,该至少两个栅极沿规定的方向配置且分别被赋予在规定的方向上提高的规定的电位。
在本发明所涉及的固体摄像装置中,由于在电荷存储部的至少两个栅极分别被赋予向规定的方向提高的规定的电位,因而会在各电荷存储部产生向规定的方向提高的电势的高低差。因此,电荷受支配于该电势的高低差而移动,使电荷存储部的电荷的传送速度高速化。因此,即使为了提高饱和电荷量而较长地设定电荷存储部的在规定的方向上的长度,也可抑制电荷存储部内的电荷的传送时间增长。其结果,可防止直线速率降低。
发明的效果
根据本发明,可提供一种不牺牲直线速率而可提高饱和电荷量的固体摄像装置。
附图说明
图1是显示本实施方式的固体摄像装置的构成的图。
图2是用以说明沿着图1的II-II线的剖面构成的图。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的