[发明专利]用于分离旋转靶的靶的方法

权利要求书

1.用于在使用之后分离旋转靶的靶和背管的方法，所述靶通过接合组合物牢固地附着到所述背管的外周表面，所述接合组合物包括铟和介质粉末，所述方法包括：

(a)将所述旋转靶加热到等于或高于铟的熔点的温度以熔化和除去所述铟的一部分；

(b)将已经在(a)中从其除去所述铟的一部分的所述旋转靶浸渍在盐酸溶液中预定的时间，以腐蚀所述铟和所述介质粉末；

(c)将其中所述铟和所述介质粉末已经在(b)中被所述盐酸溶液腐蚀的所述旋转靶加热到等于或高于铟的熔点的温度以熔化和除去所述铟的剩余部分；和

(d)将所述靶在一个方向上推离所述背管的外周表面以使所述靶和所述背管彼此分离。

2.根据权利要求1的方法，其中所述介质粉末选自砂子、不锈钢(S/S)、铜(Cu)、钨(W)、六羰基钨、氧化铝(Al₂O₃)粉末、及其混合物。

3.根据权利要求2的方法，其中，在步骤(a)和(c)的每一个中，将所述旋转靶加热到156.61℃或更高。

4.根据权利要求3的方法，其中，在步骤(a)中，通过加热所述旋转靶而熔化和除去所述铟的75到80重量%。

5.根据权利要求4的方法，其中，在步骤(b)中，所述盐酸溶液是通过将5到50重量%的盐酸与50到95重量%的水混合而制备的稀溶液。

6.根据权利要求5的方法，其中，在步骤(b)中，所述旋转靶在所述盐酸溶液中的浸渍时间在48到96小时的范围内。

7.根据权利要求1到6中任一项的方法，其中，在步骤(c)中，将所述旋转靶在以恒定速度旋转的同时加热。