[发明专利]控制坐标测量仪的方法

权利要求书

1.一种用于控制坐标测量仪(1)的方法，所述坐标测量仪(1)具有多个为了定位探测头(50)而能马达驱动的轴，其中，所述坐标测量仪(1)沿至少一个轴为了定位所述探测头(50)而相对于待测量的工件(3)发生移动，测量所述坐标测量仪(1)的变形，确定由该变形所导致的实际位置与规定位置的偏差，并且控制所述坐标测量仪(1)的所述至少一个轴的驱动装置，用于补偿所述偏差。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述被测量的坐标测量仪(1)的变形是通过所述至少一个轴的移动而导致的动态变形。

3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，沿着第一轴驱动所述坐标测量仪(1)，测量在所述第一轴的方向上的变形，确定所述探测头(50)在所述第一轴的方向上的实际位置与规定位置的偏差，并且控制所述坐标测量仪(1)的所述第一轴的驱动装置，用于补偿所述偏差。

4.如前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，由变形所导致的所述探测头(50)的实际位置与规定位置的偏差根据先前进行的校准测量而被确定。

5.如前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，所述至少一个轴的驱动装置与位置检测器构成位置调节回路，并且所述偏差的一部分被耦合在所述位置调节回路中。

6.如前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，持续测量所述坐标测量仪的变形。

7.如前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，对测量点的已测量的坐标值进行计算上的修正。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，控制所述坐标测量仪的所述至少一个轴的驱动装置，用于补偿由于变形而导致实际位置与规定位置的偏差的低频部分，并且对测量点的已测量的坐标值进行计算上的修正，用来修正所述偏差的高频部分。

9.如前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，通过至少一个传感器测量变形，所述传感器包括发射器(15、25、35)和对位置敏感的接收器(16、26、36)，其中，在所述坐标测量仪(1)的轴上相互间隔地安置所述发射器和所述接收器。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述发射器(15、25、35)沿平行于轴的方向发射光束，并且所述接收器(16、26、36)被如此安置，以便测量所述光束在所述接收器上的照射点在横向于所述轴的方向上的偏差。

11.如权利要求9或10所述的方法，其特征在于，所述发射器(15、25、35)和所述接收器(16、26、36)被安置在所述轴的同一个构件上或者所述轴的可相对移动的构件上。

12.如权利要求8至11之一所述的方法，其特征在于，所述发射器(15、25、35)或所述接收器(16、26、36)被安置在质量重心的区域内和/或移动构件的支撑区域内。

13.如权利要求8至12之一所述的方法，其特征在于，所述发射器(15、25、35)和/或所述接收器(16、26、36)被安置在所述轴的末端区域(41)内。

14.如前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，所述探测头(50)安置在固定装置上，所述固定装置包括至少一个调节驱动装置，用于使所述探测头(50)相对于所述固定装置移动，并且所述探测头(50)的实际位置与规定位置的偏差的一部分通过所述调节驱动装置被补偿。

15.一种坐标测量仪，包括至少两个被驱动的轴，所述轴分别包括至少一个位置测量系统和至少一个驱动装置，其中，第二轴运动地安装在第一轴上，此外所述坐标测量仪还包括探测头(50)和控制装置，所述探测头(50)在至少两个空间方向上相对于工件(3)可移动，其特征在于，所述坐标测量仪被设计用于执行如前述权利要求之一所述的方法。