[发明专利]用于测量气体的质量流率的方法和设备

权利要求书

1. 一种测量通过孔的气体的质量流率的方法，在所述孔中会出现阻流，所述方法使用与所述孔上游的气体接触的压电振荡器，并且包括：

a)驱动所述压电晶体振荡器，使得所述压电晶体振荡器以共振频率共振；

b)测量所述压电振荡器的所述共振频率；以及

c)根据所述共振频率来确定通过所述孔的气体的质量流率。

2. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述孔上游的压力比所述孔下游的压力高至少0.5巴。

3. 根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述方法进一步包括确定所述孔上游的气体的温度。

4. 根据权利要求1、2或3所述的方法，其特征在于，从位于所述压电晶体振荡器上游的压力调节器或阀分配所述气体。

5. 根据权利要求4所述的方法，其特征在于，响应于测量到的通过所述孔的气体的质量流率，以电子的方式控制所述压力调节器或阀。

6. 一种用于测量气体的质量流率的仪器，所述仪器包括导管，气体在使用中流过所述导管，所述导管具有限流孔，在使用中，在所述限流孔中会出现阻流，所述限流孔将所述导管分成在所述孔上游的上游部分和在所述孔下游的下游部分，所述仪器进一步包括传感器组件，所述传感器组件包括在所述上游部分中的压电晶体振荡器，使得当所述仪器在使用中时，所述压电振荡器与所述气体接触，所述传感器组件布置成：

驱动所述压电晶体振荡器，使得所述压电晶体振荡器以共振频率共振；

测量所述压电晶体振荡器的所述共振频率；以及

根据所述共振频率来确定通过所述孔的质量流率。

7. 根据权利要求6所述的仪器，其特征在于，所述仪器进一步包括驱动电路，所述驱动电路包括布置成与共射放大器呈反馈配置的复合晶体管对。

8. 根据权利要求6或7所述的仪器，其特征在于，进一步包括布置成确定所述压电振荡器附近的气体的温度的温度传感器。

9. 根据权利要求6、7或8所述的仪器，其特征在于，所述仪器布置在压力调节器或阀的下游。

10. 根据权利要求9所述的仪器，其特征在于，所述仪器布置成响应于测量到的通过所述限流孔的质量流率，以电子的方式控制所述压力调节器或阀。

11. 根据前述权利要求中的任一项所述的方法或仪器，其特征在于，所述压电振荡器包括石英晶体振荡器。

12. 根据前述权利要求中的任一项所述的方法或仪器，其特征在于，所述压电晶体振荡器包括至少两个平叉。

13. 根据前述权利要求中的任一项所述的方法或仪器，其特征在于，所述压电晶体振荡器具有32 kHz或更大的共振频率。

14. 一种能够由可编程处理设备执行的计算机程序产品，包括用于执行根据权利要求1至5中的任一项所述的步骤的一个或多个软件部分。

15. 一种计算机可用存储介质，其上存储有根据权利要求14所述的计算机程序产品。