[发明专利]硬质层叠被膜无效
| 申请号： | 201180066524.5 | 申请日： | 2011-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN103339282A | 公开（公告）日： | 2013-10-02 |
| 发明（设计）人： | 樱井正俊;大地敏弘 | 申请（专利权）人： | OSG株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/16 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硬质 层叠 | ||
【权利要求书】：
1.硬质层叠被膜，是组成彼此不同的第1被膜和第2被膜这2种在母材的表面交替地多个层叠的硬质层叠被膜，其特征在于，所述第1被膜是（AlaCrbBc）的碳化物、氮化物、碳氧化物、氮氧化物、碳氮化物或碳氧氮化物，所述第2被膜为TiB2。
2.权利要求1的硬质层叠被膜，其特征在于，所述第1被膜中的原子比a、b、c为a=1-b-c，为0.2≤b≤0.7、0＜c≤0.2，所述第1被膜的膜厚为0.1μm以上5.0μm以下，所述第2被膜的膜厚为0.1μm以上5.0μm以下，所述硬质层叠被膜的总膜厚为0.2μm以上10.0μm以下。
3.权利要求1或2的硬质层叠被膜，其特征在于，所述硬质层叠被膜的层叠数为2层以上100层以下。
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