[发明专利]电子枪及电子束装置

权利要求书

1.一种电子枪，其特征在于，包括：

柱形的电子枪阴极，其通过被加热而放射电子；

保持件，其在顶端的电子枪保持部处覆盖所述电子枪阴极的底面及侧面，并对电子枪阴极进行保持，并且由具有导电性，且在被加热了的状态下难以与所述电子枪阴极发生反应的材料而构成，并且具有朝向所述电子枪阴极保持部而整体上越趋于顶端越变细、且突出的形状，

所述电子枪阴极的顶端部露出并从所述保持件突出，并且通过向所述顶端部施加电场，从而从所述顶端部朝向前方放射电子。

2.如权利要求1所述的电子枪，其特征在于，

所述电子枪阴极在其顶端具有平坦面，且从该平坦面放射电子。

3.如权利要求1所述的电子枪，其特征在于，

所述电子枪阴极的顶端部呈越趋于顶端越变细的形状。

4.如权利要求1所述的电子枪，其特征在于，

所述电子枪阴极由从包括LaB6和CeB6在内的六硼化镧化合物中选择的一种材料而构成。

5.如权利要求1所述的电子枪，其特征在于，

所述保持件由铼构成。

6.如权利要求1所述的电子枪，其特征在于，

所述保持件在顶端部具有凹部，所述凹部对所述电子枪阴极进行保持。

7.如权利要求4所述的电子枪，其特征在于，

所述保持件具有从顶端侧到中间部而通过所述凹部的裂缝，并且通过保持件的弹力来夹持所述电子枪阴极。

8.如权利要求1所述的电子枪，其特征在于，

在所述保持件的与对所述电子枪阴极进行保持的顶端侧相反的基部侧，与光导波路相结合，且所述电子枪阴极通过经由所述光导波路而被供给的光，并经由所述保持件而被加热。

9.如权利要求8所述的电子枪，其特征在于，

所述保持件具有从顶端侧到中间部为止的裂缝，并且通过保持件的弹力来夹持所述电子枪阴极，

所述保持件具有从基部侧到中间部为止的裂缝，并且通过保持件的弹力来夹持所述光导波路，

对所述电子枪阴极进行夹持的裂缝与对所述光导波路进行夹持的裂缝，关于所述保持件的轴而在空间上正交。

10.一种电子束装置，其具有：电子枪；束控制部，其在从电子枪引出电子的同时对电子进行定向；靶保持部，其对被来自该束控制部的电子所照射的靶进行保持，所述电子束装置的特征在于，

所述电子枪包括：

柱形的电子枪阴极，其通过被加热而放射电子；

保持件，其覆盖该电子枪阴极的底面及侧面，并对电子枪阴极进行保持，并且由具有导电性，且在被加热了的状态下难以与所述电子枪阴极发生反应的材料而构成，

所述电子枪阴极的顶端部露出且从所述保持件突出，并且通过向所述顶端部施加电场，从而从所述顶端部朝向前方放射电子。