[发明专利]阴极单元有效
申请号: | 201180069851.6 | 申请日: | 2011-11-21 |
公开(公告)号: | CN103459653A | 公开(公告)日: | 2013-12-18 |
发明(设计)人: | 大野哲宏;佐藤重光;大空弘树 | 申请(专利权)人: | 株式会社爱发科 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 刘钊;齐葵 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阴极 单元 | ||
1.一种用于成膜装置的阴极单元,其特征在于,包括:
多个靶,设置在成膜空间内,并具有背板、第一母材、第二母材和旋转轴,所述背板具有第一主面、位于所述第一主面的相反侧的第二主面、第一侧面及位于所述第一侧面的相反侧的第二侧面,所述第一母材配置在所述第一主面上,所述第二母材配置在所述第二主面上,所述旋转轴从所述第一侧面朝向所述第二侧面贯通所述背板,多个旋转轴以相互平行地排列的方式配置在同一平面内;
多个控制部,使所述旋转轴旋转,经由所述旋转轴对所述靶施加用于溅射的电压,并与分别与多个靶对应设置,;
多个磁场生成部,设置在靠近所述背板的远离所述成膜空间的表面的位置,使得在所述背板的靠近所述成膜空间的表面生成特定的分布磁场。
2.根据权利要求1所述的阴极单元,其特征在于,
所述第一侧面及所述第二侧面与所述背板的长度方向垂直,所述第一侧面及所述第二侧面的形状为长方形。
3.根据权利要求1或2所述的阴极单元,其特征在于,
各个所述背板具有与所述背板的长度方向平行的侧部,
在所述侧部经由绝缘部件配置有防着板。
4.根据权利要求3所述的阴极单元,其特征在于,
在相互邻接的所述防着板上设置有凸部。
5.根据权利要求1所述的阴极单元,其特征在于,
所述第一侧面及所述第二侧面与所述背板的长度方向垂直,所述第一侧面及所述第二侧面的形状为梯形。
6.根据权利要求1所述的阴极单元,其特征在于,
所述第一侧面及所述第二侧面与所述背板的长度方向垂直,所述第一侧面及所述第二侧面的形状为平行四边形。
7.根据权利要求1、2、5、6中任一项所述的阴极单元,其特征在于,
各个所述背板具有与所述背板的长度方向平行的侧部,
所述侧部被形成为台阶状。
8.根据权利要求1、2、5、6中任一项所述的阴极单元,其特征在于,
各个所述背板具有与所述背板的长度方向平行的侧部,
所述侧部被形成为波纹状。
9.根据权利要求1、2、5、6中任一项所述的阴极单元,其特征在于,
各个所述背板具有与所述背板的长度方向平行的侧部,
在相互邻接的所述侧部中,一侧的侧部具有凸部,另一侧的侧部具有凹部。
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