[发明专利]柔性的承载支架、用于使承载基底脱离的装置以及方法有效

专利信息
申请号: 201180070028.7 申请日: 2011-04-11
公开(公告)号: CN103460369A 公开(公告)日: 2013-12-18
发明(设计)人: J.布格拉夫;D.布格施塔勒 申请(专利权)人: EV集团E·索尔纳有限责任公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/687
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 陈浩然;傅永霄
地址: 奥地利圣*** 国省代码: 奥地利;AT
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摘要:
搜索关键词: 柔性 承载 支架 用于 基底 脱离 装置 以及 方法
【权利要求书】:

1.一种用于在使承载基底(13)与产品基底(11)脱离时固定所述承载基底(13)的柔性的承载支架(1),其中,设置有脱离器件(1,28)以用于在所述承载基底(13)弯曲的情况下分开所述产品基底(11)。

2.一种用于在脱离方向(L)上使承载基底(13)与产品基底(11)脱离的装置,其带有以下特征:

-用于固定所述承载基底(13)的、在脱离方向(L)上柔性的承载支架(1),

-用于固定所述产品基底(11)的基底支架(18),以及

-用于在所述承载基底(13)弯曲的情况下使所述承载基底(13)与所述产品基底(11)分开的脱离器件(1,15,15',16,28)。

3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述承载支架(1)可在脱离方向(L)上弹性地变形。

4.根据权利要求2或3所述的装置,其特征在于,在其中,通过所述脱离器件(1,15,15',16,28)可施加尤其作用在所述基底支架(18)的周缘处的至少一个拉力(F1,F2,Fn)和与所述拉力(F1,F2,Fn)相反地尤其作用在所述承载支架的周缘处的至少一个反力(G)以沿着脱离前部产生脱离力矩(L1,L2,Ln)。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的装置,其特征在于,在其中,所述基底支架(18)构造为刚性的、尤其全面容纳所述产品基底(11)的基底支架(18)。

6.根据权利要求1所述的承载支架,其特征在于,在其中,所述承载支架(1)构造为尤其敞开的、带有可调整的直径(Dk)的环(3)。

7.根据权利要求1或6中任一项所述的承载支架,其特征在于,其具有尤其在整个环周缘(3u)上伸延的、尤其带有回弹的周向肩部(7)的保持器件(9)。

8.根据权利要求1、6或7中任一项所述的承载支架,其特征在于,其构造成在侧向基本上完全包围所述承载基底(13)。

9.一种用于在脱离方向(L)上使承载基底与产品基底脱离的方法,其带有以下步骤,尤其以下流程:

-利用基底支架来固定所述产品基底,并且利用在脱离方向(L)上柔性的承载支架来固定所述承载基底,以及

-在所述产品基底弯曲的情况下使所述承载基底与所述产品基底分开。

10.一种用于在分开承载基底与产品基底时固定所述承载基底的柔性的承载支架的用途。

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