[发明专利]半导体器件及半导体器件的制造方法有效

专利信息
申请号: 201180072617.9 申请日: 2011-07-29
公开(公告)号: CN103703557A 公开(公告)日: 2014-04-02
发明(设计)人: 柴田健;柳谷优太 申请(专利权)人: 瑞萨电子株式会社
主分类号: H01L21/8244 分类号: H01L21/8244;H01L27/11
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 陈伟;金杨
地址: 日本神*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 半导体器件 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种半导体器件,其特征在于,具有:

包含第1部分至第3部分的第1导电型的第1阱区域;

具有比所述第1阱区域高的杂质浓度的所述第1导电型的第1供电区域;和

包含第4部分的第2导电型的第2阱区域,

所述第1部分和所述第2部分在第1方向上与所述第4部分的两侧邻接地配置,

所述第3部分具有向着所述第1方向延伸的形状,并在与所述第1方向相交的第2方向上与所述第1部分及第2部分连结且与所述第4部分邻接地配置,

所述第1供电区域在所述第3部分内以大致矩形形状形成,并经由所述第1阱区域而对所述第1部分和所述第2部分供给规定的电压,

所述第1供电区域的所述第1方向上的尺寸大于所述第2方向上的尺寸。

2.如权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,

所述第1供电区域包含在所述第2方向上与所述第4部分相对地配置的区间。

3.如权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,还具有:

第1栅极层,其跨着所述第1部分与所述第4部分的边界或所述第4部分与所述第2部分的边界,并向着所述第1方向而延伸;

所述第2导电型的第1半导体区域,其形成在所述第1部分或所述第2部分上,并成为以所述第1栅极层为栅极的MIS晶体管的源极-漏极区域;和

所述第1导电型的第2半导体区域,其形成在所述第4部分上,并成为以所述第1栅极层为栅极的MIS晶体管的源极-漏极区域。

4.如权利要求3所述的半导体器件,其特征在于,

还具有虚拟栅极层,该虚拟栅极层与所述1栅极层并列地延伸,并在所述第2方向上配置在所述第1栅极层与所述第1供电区域之间,

所述虚拟栅极层在所述第1供电区域侧不具有成为源极或漏极的半导体区域。

5.如权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,还具有:

存储阵列,其包括向着所述第1方向延伸的字线、向着所述第2方向延伸的多条位线、和配置在所述字线与多条所述位线的交点处的多个存储单元;以及

对多条所述位线进行信号的输入输出的列控制电路,

多个所述存储单元各自所含有的MIS晶体管的栅极层向着所述第1方向延伸,

在所述第1阱区域及所述第2阱区域中形成有所述列控制电路的一部分。

6.如权利要求5所述的半导体器件,其特征在于,

在所述第1阱区域及第2阱区域形成有:读取向多条所述位线施加的外部输入数据的输入缓冲电路、和将从多条所述位线读取的信号作为外部输出数据而输出的输出缓冲电路。

7.如权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,

所述半导体器件具有向着所述第1方向依次并列地配置的多个第1单位区域,

多个所述第1单位区域分别具有包含所述第1部分至第3部分的所述第1阱区域、所述第1供电区域、和包含所述第4部分的所述第2阱区域,

多个所述第1单位区域各自所含有的所述第1阱区域的所述第3部分跨着多个所述第1单位区域而被共同连结。

8.如权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,

还具有所述第2导电型的第2供电区域,该第2供电区域具有比所述第2阱区域高的杂质浓度,

所述第2阱区域还具有:

第5部分,其在所述第1方向上隔着所述第2部分而与所述第4部分相对地配置;和

第6部分,其具有朝向所述第1方向延伸的形状,并在所述第2方向上的、隔着所述第4部分、第2部分、第5部分而与所述第3部分相对的一侧,与所述第4部分及第5部分连结且与所述第2部分邻接地配置,

所述第2供电区域在所述第6部分内以大致矩形形状形成,并经由所述第2阱区域而对所述第4部分和所述第5部分供给规定的电压,

所述第2供电区域的所述第1方向上的尺寸大于所述第2方向上的尺寸。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瑞萨电子株式会社,未经瑞萨电子株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201180072617.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top