[发明专利]用于生产洁净包装材料的方法和所述洁净包装材料

说明书

技术领域

本发明涉及生产用于电子器件、硅晶圆制造、制药学以及相关产业的洁净包装材料的方法，以及采用该方法所生产的洁净包装材料。

背景技术

高端产品，如硅晶圆、磁盘、微芯片以及光掩膜需要高洁净水平。现有技术的包装这样产品的方法通常包括在洁净室中清洁和干燥模板的两个表面的步骤和在包装这些产品之后密封模板边缘的步骤。

然而，在上述现有技术中，由吹塑薄膜挤压法从管状薄膜或板获得包装袋的方法并不简单，而且对于获得的包装袋，也难以洁净其内表面。

欧洲专利EP 0869077（A4）描述了一种高度洁净的塑料膜或板，特别涉及高洁净度的塑料袋在洁净室中包装衣服、长袍、手套、操作器具等等。

然而，以上描述的方法步骤和过程冗长且需要将塑料薄膜或板的两面曝露在超纯水中，从而喷雾超纯水以进行强制冲洗。这使得生产准备成本偏高因而在实际生产环境中缺乏商业吸引力。

日本专利公布文件JP06-285944的专利摘要描述了一种洁净膜生产方法，该方法采用同型丙烯树脂共挤压涂布LDPE薄膜的两个表面，因而无需进行清洗。

然而，与生产薄膜的标准单个挤压机相比，这一生产方法需要昂贵的共挤压生产设备和更加复杂的过程。

多个现有技术，包括以上引用的欧洲专利EP 0869077（A4）和日本专利公布文件JP06-285944均无法提供一种易于制造且生产准备成本低的具有价格竞争力的洁净膜/袋。

因此，需要进行进一步的研究和开发从而找到能够生产超洁净膜的方法，该方法不但所需费用很低而且易于制造。满足这些需求是本发明的目标和目地。

发明内容

本发明的基本目标是提供一种生产用于电子器件、硅晶圆制造、制药学以及相关产业的洁净包装材料的方法。

所述生产洁净包装材料的方法包括：

步骤S1，选择熔体流动指数（melt flow index）不同的至少第一裸足聚烯烃树脂（barefoot polyolefin resin）和第二裸足聚烯烃树脂；

步骤S2，将选择的裸足聚烯烃树脂混合到一起以形成所述洁净包装材料。

所述第一裸足聚烯烃树脂和所述第二裸足聚烯烃树脂的熔体流动指数范围约从0.1到20，优选约从0.1到10，更优选约从0.1到5。

所述第一裸足聚烯烃树脂和所述第二裸足聚烯烃树脂的熔体流动指数相差至少0.07。

所述第一裸足聚烯烃树脂和所述第二裸足聚烯烃树脂包括低密度聚乙烯（LDPE）、线性低密度聚乙烯（LLDPE）、高密度聚乙烯（HDPE）和/或聚丙烯（PP）。

所述步骤S1进一步包括选择第三裸足聚烯烃树脂，其中所述第一裸足聚烯烃树脂、所述第二裸足聚烯烃树脂和所述第三裸足聚烯烃树脂的熔体流动指数不同。

所述第一裸足聚烯烃树脂、所述第二裸足聚烯烃树脂和所述第三裸足聚烯烃树脂的熔体流动指数范围约从0.1到20，优选约从0.1到10，更优选约从0.1到5。

所述第一裸足聚烯烃树脂、所述第二裸足聚烯烃树脂和所述第三裸足聚烯烃树脂的熔体流动指数相差至少0.07。

所述第一裸足聚烯烃树脂、所述第二裸足聚烯烃树脂和所述第三裸足聚烯烃树脂包括低密度聚乙烯（LDPE）、线性低密度聚乙烯（LLDPE）、高密度聚乙烯（HDPE）和/或聚丙烯（PP）。

在步骤S2中，将选择的裸足聚烯烃树脂在标准滚筒或混合机里混合到一起，接着进行标准吹塑薄膜挤压过程，最后将获得具有令人惊讶的极高洁净度和极少液体颗粒计数（liquid particle counter,LPC）的洁净室包装袋和薄膜。

本发明的另一基本目标是提供一种洁净包装材料，该洁净包装材料是根据上述用于生产洁净包装材料的方法生产的。

因此，无需使用超纯水洗涤或者共挤压涂布而经济地生产的用于电子器件的极洁净的包装材料具有很高的商业吸引力。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明，附图中：

图1是根据本发明的一个实施例的用于生产洁净包装材料的方法的流程图；

图2是根据本发明的另一个实施例的用于生产洁净包装材料的方法的流程图。

具体实施方式

本发明的各种优点、各个方面和创新特征，以及其中所示例的实施例的细节，将在以下的说明书和附图中进行详细介绍。然而，本发明的各个实施例是仅仅用于示例而非限制性的。