[发明专利]具有各个主动支撑组件的光学成像布置

权利要求书

1.一种光学成像布置，包含：

-光学投射单元；及

-控制装置；

-所述光学投射单元包含支撑结构和光学元件单元组，该光学元件单元组适于在沿着曝光光路利用曝光光的曝光过程中，将掩模单元的图案的像转印于基板单元的基板上；

-所述光学元件单元组包含第一光学元件单元和多个第二光学元件单元；

-所述第一光学元件单元和所述二光学元件单元在所述控制装置的控制下由所述支撑结构主动支撑；

-所述第一光学元件单元在低的第一控制带宽下被主动支撑；

-所述第二光学元件单元在第二控制带宽下被主动支撑，以基本上维持所述第二光学元件中的每一个关于所述第一光学元件单元的给定空间关系。

2.如权利要求1所述的光学成像布置，其中，以下至少一者成立：

-所述第一控制带宽在5Hz至100Hz之间；及

-所述第二控制带宽至少等于所述第一控制带宽且在20Hz至400Hz之间；及

-所述第二控制带宽对于所述第二光学元件单元中的至少两个而言是不同的。

3.如权利要求1所述的光学成像布置，其中，

-所述第一光学元件单元经由主动第一支撑单元而由所述支撑结构支撑；及

-所述第二光学元件单元中的每一个经由主动第二支撑单元而由所述支撑结构支撑；

-所述第一支撑单元适于在至少一个自由度上在位于5Hz至100Hz之间的第一调整频率带宽下，调整所述第一光学元件单元的第一光学元件的定向和位置中的至少一个；

-所述第二支撑单元中的每一个适于在至少一个自由度上在至少等于所述第一调整频率带宽且位于5Hz至400Hz之间的第二调整频率带宽下，调整关联的第二光学元件单元的第二光学元件的定向和位置中的至少一个。

4.如权利要求3所述的光学成像布置，其中，以下至少一者成立：

-在所有六个自由度上调整所述第一光学元件的所述定向和所述位置；及

-所述第一调整频率带宽位于40Hz至100Hz之间；及

-在所有六个自由度上调整所述第二光学元件中的至少一个的所述定向和所述位置；及

-所述第二调整频率带宽位于100Hz至300Hz之间。

5.如权利要求1所述的光学成像布置，其中，以下至少一者成立：

-所述光学元件单元组的所述光学元件单元中的每一个呈现一谐振频率，在所述光学元件单元组的所述光学元件单元当中，所述第一光学元件单元呈现最小谐振频率；及

-所述光学元件单元组的所述光学元件单元中的每一个呈现一光学覆盖区，在所述光学元件单元组的所述光学元件单元当中，所述第一光学元件单元呈现最大光学覆盖区；及

-在转印所述像于所述基板上时，沿着所述光路，所述第一光学元件单元是所述光学投射单元中由所述曝光光最后照射的最终光学元件单元。

6.如权利要求3所述的光学成像布置，其中

-所述主动支撑装置中的至少一个包含致动器装置和重力补偿装置中的至少一者；

-所述致动器装置适于主动调整所述光学元件单元的光学元件的定向和位置中的至少一者；

-所述重力补偿装置适于至少部分补偿作用于所述光学元件单元上的重力。

7.如权利要求7所述的光学成像布置，其中，所述致动器装置和所述重力补偿装置中的至少一个包含非接触式致动器、主动磁致动器、洛伦兹致动器和被动重力补偿器中的至少一个。

8.如权利要求1所述的光学成像布置，其中，

-提供度量布置；

-所述度量布置采集形成参考光学元件单元的所述第一光学元件单元和所述光学成像布置的至少一个其它组件之间的空间关系；

-所述度量布置包含参考元件；

-所述参考元件直接机械连接至所述参考光学元件单元和所述其它组件之一。

9.如权利要求8所述的光学成像布置，其中，所述参考元件包含参考表面，所述参考表面是反射表面和衍射表面中的至少一个。