[发明专利]在测量工件的坐标时的误差修正和/或避免有效
申请号: | 201180073361.3 | 申请日: | 2011-07-08 |
公开(公告)号: | CN103782130A | 公开(公告)日: | 2014-05-07 |
发明(设计)人: | T·黑尔德;D·塞茨;R·萨格米勒;T·沃勒茨 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司工业测量技术有限公司 |
主分类号: | G01B21/04 | 分类号: | G01B21/04 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 侯鸣慧 |
地址: | 德国奥*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测量 工件 坐标 误差 修正 避免 | ||
1.用于测量工件的坐标和/或用于加工工件的组件,其中,所述组件具有第一部分(1)和能够相对于所述第一部分(1)运动的第二部分(3),其中,这些部分(1,3)的可相对运动性除了可选地附加固定在所述组件上的探测器的可能发生的可运动性外附加地给出,所述可能发生的可运动性在机械地探测所述工件以便测量所述坐标时通过所述探测器从中间位置的偏转出来给出,其中,在第一(1)或第二部分(3)上布置有一测量体(K1,K2)并且在另一部分上、也就是说在第二(3)或第一部分(1)上布置有至少一个传感器(s1…s5),其中,所述传感器(s1…s5)构型得用于相应于所述测量体(K1,K2)的位置、从而相应于所述第一(1)和第二部分(3)的相对位置产生测量信号。
2.根据上一权利要求所述的组件,其中,所述第一(1)和所述第二(3)部分是一旋转装置的部分,所述旋转装置具有绕至少一个旋转轴线(A1)的可旋转运动性,其中,所述第一部分(1)和所述第二部分(3)基于该旋转装置的可旋转运动性而能够彼此相对旋转运动,并且,所述第一(1)或所述第二部分(3)构造得用于或者保持所述工件或者保持一坐标测量装置、例如所述探测器,以便能够使所述工件或所述坐标测量装置旋转。
3.根据上一权利要求所述的组件,其中,测量体(4;14)构造为所述第一或第二部分的不是为所述旋转装置的旋转功能所需的附加材料区域和/或所述传感器(s1…s5)布置在所述第二或第一(1)部分的一不是为所述旋转装置的旋转功能所需的附加材料区域(2)上。
4.根据上一权利要求所述的组件,其中,所述附加材料区域(2)是长形延伸的材料区域,其在所述旋转轴线(A1)的方向上延伸并且尤其相对于所述旋转轴线(A1)旋转对称地成型和布置。
5.根据权利要求2至4之一所述的组件,其中,该组件具有:
·多个传感器(74a,74b),这些传感器围绕所述旋转轴线(R)分布地布置并且构造得用于分别感测所述第一(51)和第二(53)部分相对彼此的旋转位置并产生相应的测量信号,其中,所述传感器(74)在所述旋转轴线(R)的轴向方向上布置在测量体(75)的相同侧或布置在所述测量体的轴向位置上,
·评估装置,所述评估装置与所述传感器(74)连接以接收传感器(74)的测量信号并且所述评估电路构造得用于对由所述传感器(74)感测的、所述第一(51)和第二(53)部分彼此相对的旋转位置这样进行评估,使得第一(51)和第二部分(53)彼此相对的平移运动的效果被修正,其中,该平移运动横向于所述旋转轴线(R)的延伸地走向。
6.根据上一权利要求所述的组件,其中,还设置有至少一个传感器(94),该传感器构型造得用于感测所述测量体(75)与所述另一部分在所述旋转轴线(R)的轴向方向上的间距或所述第一部分(51)和所述第二部分(53)的轴向相对位置。
7.根据权利要求2至6之一所述的组件,其中,所述测量体是布置在第一轴向位置上的第一测量体(K1),并且,在所述第一(1)或第二(3)部分上在与所述第一轴向位置隔开间距的第二轴向位置上布置有第二测量体(K2),其中,所述传感器或一第二传感器(s4,s5)构造得用于相应于所述第二测量体(K2)的位置并从而相应于所述第一(1)和第二(3)部分的相对位置而产生测量信号。
8.根据权利要求2至7之一所述的组件,其中,对于所述第一部分(1)和所述第二部分(2)预给定至少一个在所述组件运行中要设定的相对位置,并且,设置一评估装置,所述评估装置构造得用于在使用所述传感器(s1…s5)的测量信号的情况下确定:当所述预给定的相对位置已被设定时,所述第一(1)和所述第二(2)部分实际处于哪个相对位置中。
9.根据上述权利要求之一所述的组件,其中,所述第一或所述第二(138)部分构造得用于保持构造为用于机械地探测所述工件(140)的探测器(132)和/或构造为用于所述探测器(132)的探测头(130)的坐标测量系统,以便能够实现所述探测器(132)和/或所述探测头(130)的可运动性,并且,所述传感器(s1…s5)和/或所述测量体(M)除了用于确定所述第一(135,141)和第二(138)部分的可相对运动性之外也构造得用于测量所述探测器(132)在出于测量所述工件(140)的坐标的目的而机械地探测所述工件(140)时从中间位置的偏转。
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