[发明专利]天线结构和等离子体生成装置

权利要求书

1.一种用于等离子体生成的天线结构，其包括：

四个感应天线，四个所述感应天线具有相同的结构，彼此并联连接并且是重叠布置的，

其中，所述感应天线包括：

外上部，所述外上部布置在第一层的第一象限；

内上部，所述内上部与所述外上部连接且布置在所述第一层的第二象限；

内下部，所述内下部与所述内上部连接且布置在第二层的第三象限，所述第二层布置于所述第一层的下部；和

外下部，所述外下部与所述内下部连接且布置在所述第二层的第四象限，

其中，所述外上部的一端被供给有RF电源，且所述外下部的另一端接地。

2.如权利要求1所述的天线结构，还包括：

上分支，所述上分支连接所述外上部的另一端和所述内上部的一端；

垂直分支，所述垂直分支连接所述内上部的另一端和所述内下部的一端；和

下分支，所述下分支连接所述内下部的另一端和所述外下部的一端。

3.如权利要求1所述的天线结构，其中，所述外上部和所述外下部中的各者具有第一曲率，且所述内上部和所述内下部中的各者具有第二曲率，所述第一曲率的半径大于所述第二曲率的半径。

4.如权利要求1所述的天线结构，其中，所述外上部和所述外下部中的各者是以直角弯曲的，且所述内上部和所述内下部中的各者是以直角弯曲的。

5.如权利要求1所述的天线结构，其中，在所述第一层与所述第二层之间布置有绝缘层。

6.如权利要求1所述的天线结构，其中，所述外上部的宽度和所述外下部的宽度窄于所述内上部的宽度和所述内下部的宽度。

7.一种用于等离子体生成的天线结构，其包括：

四个感应天线，四个所述感应天线具有相同的结构，彼此并联连接，并且是重叠布置的，

其中，所述感应天线包括：

用于等离子体生成的天线结构，其包括：

两个感应天线，两个所述感应天线具有相同的结构，彼此并联连接并且是重叠布置的，

其中，所述感应天线（101a）包括：

外上部（110a），所述外上部布置在第一层（141）的第一象限；

内上部（112a），所述内上部与所述外上部（110a）连接且布置在第二层（142）的第二象限，所述第二层布置于所述第一层的上部；

内下部（122a），所述内下部与所述内上部（112a）连接且布置在第三层（143）的第三象限，所述第三层布置于所述第二层的下部；和

外下部（120a），所述外下部与所述内下部（122a）连接且布置在第四层（144）的第四象限，所述第四层布置于所述第一层（141）的下部，

其中，所述外上部（110a）的一端被供给有RF电源，且所述外下部（120a）的另一端接地。

8.如权利要求7所述的天线结构，还包括：

上分支，所述连接所述外上部的另一端和所述内上部的一端；

垂直分支，所述垂直分支连接所述内上部的另一端和所述内下部的一端；和

下分支，所述下分支连接所述内下部的另一端和所述外下部的一端。

9.一种用于等离子体生成的天线结构，其包括：

两个感应天线，两个所述感应天线具有相同的结构，彼此并联连接，并且是重叠布置的，

其中，所述感应天线包括：

外上部，所述外上部布置在第一层的第一象限和第二象限；

内上部，所述内上部与所述外上部连接且布置在所述第一层的第三象限和第四象限；

内下部，所述内下部与所述内上部连接且布置在第二层的第一象限和第二象限，所述第二层布置于所述第一层的下部；和

外下部，所述外下部与所述内下部连接且布置在所述第二层的第三象限和第四象限，

其中，所述外上部的一端被供给有RF电源，且所述外下部的另一端接地。

10.如权利要求9所述的天线结构，还包括：

上分支，所述上分支连接所述外上部的另一端和所述内上部的一端；

垂直分支，所述垂直分支连接所述内上部的另一端和所述内下部的一端；和

下分支，所述下分支连接所述内下部的另一端和所述外下部的一端。