[发明专利]具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜

权利要求书

1.一种具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜，将从光源产生的原电子(Primary Electron)射入试样，并且检测在所述原电子射入后从试样发射的发射电子，其特征在于，包括：

维恩速度过滤部，配置在所述光源和所述试样之间，产生磁场及电场，从而将所述发射电子分离为次级电子(Secondary Electron)和反射电子(Back Scattered Electron)；和

探测部，分别探测从所述维恩速度过滤部分离的次级电子和反射电子。

2.根据权利要求1所述的具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜，其特征在于，

所述探测部包括：配置在所述维恩速度过滤部的上侧，用于探测所述次级电子的第一检测部；和配置在所述第一检测部和所述光源之间，用于探测所述反射电子的第二检测部。

3.根据权利要求2所述的具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜，其特征在于，

所述第一检测部的所述次级电子射入的一侧的端部面或者所述第二检测部的所述反射电子射入的一侧的端部面形成为倾斜状。

4.根据权利要求3所述的具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜，其特征在于，

所述第一检测部的次级电子射入的一侧的端部与地面所构成的角度比所述第二检测部的反射电子射入的一侧的端部与地面所构成的角度大。

5.根据权利要求2所述的具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜，其特征在于，

所述探测部进一步包括电子引导部件，所述电子引导部件与所述第一检测部或所述第二检测部的端部隔开规定间隔而配置，用于将所述次级电子引导至所述第一检测部侧，或将所述反射电子引导至所述第二检测部侧。

6.根据权利要求5所述的具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜，其特征在于，

所述探测部进一步包括防引导部件，所述防引导部件配置在所述反射电子的移动路径上，用于防止所述反射电子在所述电子引导部件的作用下被引导至所述第一检测部侧。

7.根据权利要求1到6中的任一项所述的具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜，其特征在于，

进一步包括镜筒，所述镜筒用于收容所述光源、所述维恩速度过滤部和所述探测部，并且所述镜筒的从所述光源扫描的原电子射出的端部侧被隔离为真空状态。