[发明专利]喷嘴芯片的制造方法

权利要求书

1.一种喷嘴芯片的制造方法，所述制造方法包括通过使用具有在通过连接部将喷出口列图案彼此相连接的情况下形成一个喷嘴芯片的喷出口列图案的图案的掩模进行光线照射来形成喷出口列的步骤，

其中，所述掩模被配置为使得对于所述喷出口列的喷出口的配置方向、照射与所述连接部的距离最近的喷出口的光线的轴外远心度的绝对值小于照射与所述连接部的距离最远的喷出口的光线的轴外远心度的绝对值。

2.根据权利要求1所述的喷嘴芯片的制造方法，其中，所述掩模的喷出口列图案是如下的喷出口列图案，该喷出口列图案被配置为使得对于所述喷出口列的喷出口的配置方向、从照射所述掩模的光束的中心到与所述连接部的距离最近的喷出口的距离小于从所述光束的中心到与所述连接部的距离最远的喷出口的距离。

3.根据权利要求1或2所述的喷嘴芯片的制造方法，其中，通过使用缩小投影光学系统来进行所述光线照射。