[发明专利]薄膜体声波谐振器、通信器件和射频模块有效
| 申请号： | 201210000816.5 | 申请日： | 2012-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN102545827A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 王建;张宗民 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 声波 谐振器 通信 器件 射频 模块 | ||
1.一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底上依次层叠设置有下电极层、压电薄膜和上电极层；
所述衬底与下电极层之间设置有2个或2个以上的空气隙。
2.根据权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述衬底与下电极层之间设置有多个壁障，所述多个壁障围合形成所述各空气隙。
3.根据权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述衬底上开设有2个或2个以上的凹槽结构，所述凹槽结构形成的所述空气隙。
4.根据权利要求2或3所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，各空气隙之间设置有过孔。
5.根据权利要求1、2或3所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述空气隙为多边形结构。
6.根据权利要求5所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述空气隙为正多边形结构。
7.根据权利要求1、2或3所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述空气隙为方形结构。
8.根据权利要求7所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述空气隙为宽长比为1∶1～1∶5的长方形结构。
9.根据权利要求1、2或3所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述下电极层与各空气隙之间还设置有支撑层。
10.一种通信器件，其特征在于，包括上述权利要求1～9任一所述的薄膜体声波谐振器。
11.根据权利要求10所述的通信器件，其特征在于，所述通信器件为滤波器、双工器或振荡器。
12.一种射频模块，包括双工器或多工器，其特征在于，所述双工器或多工器中的谐振器为采用上述权利要求1-9任一所述的薄膜体声波谐振器。
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