[发明专利]一种集束式结构的涂胶显影设备

权利要求书

1.一种集束式结构的涂胶显影设备，包括片盒站、工艺站和接口站，片盒站与工艺站通过卸/载料机器人传送晶片，工艺站与接口站通过接口机器人传送晶片，工艺站包括涂光刻胶站和显影站，其特征在于，所述涂光刻胶站和显影站与片盒站和接口站呈一字排列，站内的工艺处理模块呈集束型分布，集束原点分别是用于站内传片的工艺机器人CR和工艺机器人DR；涂光刻胶站的四个方向排布4个热处理塔，按逆时针顺序为：热处理塔1、热处理塔2、热处理塔3和热处理塔4，热处理塔1和热处理塔2紧邻卸/载料机器人，热处理塔1和热处理塔4之间置有匀胶显影塔1，热处理塔2和热处理塔3之间置有匀胶显影塔2；显影站的四个方向排布4个热处理塔，按顺时针顺序为：热处理塔3、热处理塔4、热处理塔5和热处理塔6，热处理塔5和热处理塔6紧邻接口机器人，热处理塔4和热处理塔5之间置有匀胶显影塔3，热处理塔3和热处理塔6之间置有匀胶显影塔4。

2.根据权利要求1所述的一种集束式结构的涂胶显影设备，其特征在于，所述热处理塔1和热处理塔2相连，塔内安置增粘模块和精密致冷模块，各模块叠层安置，每塔每层排布1个模块。

3.根据权利要求1所述的一种集束式结构的涂胶显影设备，其特征在于，所述匀胶显影塔1和匀胶显影塔2为叠层安置的涂胶模块，每塔每层排布1个模块。

4.根据权利要求1所述的一种集束式结构的涂胶显影设备，其特征在于，所述热处理塔3和热处理塔4相连，塔内安置低温加热模块，各模块叠层安置，每塔每层排布1个模块。

5.根据权利要求1所述的一种集束式结构的涂胶显影设备，其特征在于，所述匀胶显影塔3和匀胶显影塔4为叠层安置的显影模块，每塔每层排布1个模块。

6.根据权利要求1所述的一种集束式结构的涂胶显影设备，其特征在于，所述热处理塔5和热处理塔6相连，塔内安置增粘模块和精密致冷模块，各模块叠层安置，每塔每层排布1个模块。