[发明专利]一种工件台平衡质量质心测试校准方法有效

专利信息
申请号: 201210001422.1 申请日: 2012-01-05
公开(公告)号: CN103197517A 公开(公告)日: 2013-07-10
发明(设计)人: 吴立伟;董俊清 申请(专利权)人: 上海微电子装备有限公司
主分类号: G03F9/00 分类号: G03F9/00;G03F7/20
代理公司: 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 代理人: 王光辉
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 工件 平衡 质量 质心 测试 校准 方法
【权利要求书】:

1.一种工件台平衡质量质心测试校准方法,具有以下步骤:

步骤一、针对平衡质量生成N组Rz轨迹,设定最大测试次数M;

步骤二、假设初始时质心偏差                                                、为零,设定XY向质心的搜索阈值spec_x和spec_y;

步骤三、选择X、Y、Rz轴的测试模型,将此时的、值代入到测试模型中,选择一组Rz轨迹,注入到测试模型;

步骤四、运行测试模型,得到平衡质量零速段位移测量输出,进而得到XYRz三自由度的位移输出、和,根据公式:计算出此时的、值并记录;

步骤五、输入下一组Rz轨迹,重复步骤三和步骤四,得到不同的、值并记录;

步骤六、记录N次值以后,求平均,得到该组测试完成后的质心偏差、值;

步骤七、判断是否完成了M次测试,若未完成,则对得到的、,分别与设定的搜索阈值spec_x、spec_y进行比较,如果、均小于搜索阈值,则认为测校完成,并确认质心的偏移量为、;如果、中至少一个大于搜索阈值,将此时的、值代入测试模型,重复步骤三~六,直到、值小于设定的搜索阈值,完成测校;或者直到测试次数大于设定的测试次数M,完成测校。

2.根据权利要求1所述的工件台平衡质量质心测试校准方法,其中,所述轨迹为包含位移、速度和加速度等运动参数的三阶运动轨迹。

3.根据权利要求1或2所述的工件台平衡质量质心测试校准方法,其中,所述测试模型在XY轴为开环,在Rz轴为闭环。

4.根据权利要求3所述的工件台平衡质量质心测试校准方法,其中,利用光栅尺实现所述Rz轴的闭环。

5.根据权利要求4所述的工件台平衡质量质心测试校准方法,其中,所述光栅尺为二维光栅尺 。

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