[发明专利]一种原子层沉积设备

权利要求书

1.一种原子层沉积设备，其特征在于：包括主控部件、电气控制部件、真空部件、加热部件和气路部件，所述主控部件分别与所述电气控制部件、所述真空部件、所述加热部件和所述气路部件连接，所述电气控制部件分别与所述真空部件、所述加热部件和所述气路部件连接，所述主控部件为集显示与控制于一体的控制设备。

2.如权利要求1所述的原子层沉积设备，其特征在于：所述主控部件包括显示器和设置在所述显示器内部的控制器和内置I/O，所述控制器和所述内置I/O通过内部总线相连，所述内置I/O包括模拟量输入模块、模拟量输出模块、数字量输出模块，所述模拟量输入模块、模拟量输出模块和数字量输出模块之间通过内部总线相连。

3.如权利要求2所述的原子层沉积设备，其特征在于：所述电气控制部件包括断路器、保险丝、微型接触器、继电器和电源，所述电源分别与所述断路器、所述微型接触器和所述继电器相连，所述保险丝与所述断路器相连。

4.如权利要求3所述的原子层沉积设备，其特征在于：所述主控部件的内置I/O分别与所述电气控制部件的微型接触器和继电器相连。

5.如权利要求2所述的原子层沉积设备，其特征在于：所述真空部件中的真空计通过RS232串口与所述主控部件的控制器连接。

6.如权利要求3所述的原子层沉积设备，其特征在于：所述加热部件中的被加热源的供电电源直接与所述电气部件的继电器相连，所述主控部件的数字量输出模块控制所述继电器来控制所述被加热源的温度。

7.如权利要求2所述的原子层沉积设备，其特征在于：所述气路部件中的质量流量计由所述主控部件的模拟量输出模块控制。