[发明专利]机械手末端执行器

权利要求书

1.一种机械手末端执行器，包括有手指及固定钳口，固定钳口固定在手指上，其特征在于：所述机械手末端执行器还包括有连接块、导向轴及随动导轮，连接块滑动安装在手指上，导向轴固定在连接块上，随动导轮转动固定在连接块上，手指能够相对导向轴的轴线转动，导向轴与连接块能够相对手指沿导向轴的轴线移动，随动导轮随连接块一起移动，直至随动导轮与固定钳口夹住晶圆片，随动导轮在夹住晶圆片的过程中能够转动以对晶圆片的位置进行调节。

2.如权利要求1所述的机械手末端执行器，其特征在于：所述手指能够绕导向轴的轴线作180°的转动。

3.如权利要求1所述的机械手末端执行器，其特征在于：所述随动导轮通过一螺钉转动固定在所述连接块上，所述螺钉与连接块之间设有一个轴中间环。

4.如权利要求3所述的机械手末端执行器，其特征在于：所述随动导轮与所述连接块之间设有垫圈。

5.如权利要求1所述的机械手末端执行器，其特征在于：所述固定钳口开设有收容槽，所述随动导轮开设有凹槽，所述收容槽与凹槽用以夹持晶圆片。

6.如权利要求5所述的机械手末端执行器，其特征在于：所述收容槽的一横截面呈弧形，所述凹槽的一横截面呈弧形。

7.如权利要求1所述的机械手末端执行器，其特征在于：所述手指开设有一个通孔，所述通孔的边缘上设有刻度，所述连接块安装在所述通孔中，并能够通过所述刻度确定其位置。

8.如权利要求7所述的机械手末端执行器，其特征在于：所述连接块包括有连接一起的一个安装部及一个滑动部，所述安装部固定在所述导向轴上，所述滑动部安装在所述通孔中，所述随动导轮固定在所述滑动部上。

9.如权利要求8所述的机械手末端执行器，其特征在于：所述安装部开设有安装孔，所述导向轴通过一个螺钉穿入所述安装孔中并锁在导向轴上而固定在所述安装部上。

10.如权利要求1所述的机械手末端执行器，其特征在于：所述固定钳口与随动导轮各有两个，所述手指包括两个指头及一个连接两个指头的连接部，所述两个固定钳口分别位于两个指头的自由端，所述连接块固定在所述连接部上，所述两个指头分别位于所述导向轴的轴线的两侧，所述两个随动导轮也分别位于所述导向轴的轴线的两侧。