[发明专利]一种钡钙锆钛无铅压电织构厚膜及其制备方法

权利要求书

1.一种钡钙锆钛无铅压电织构厚膜，其化学成份符合化学通式：(Ba_xCa_y)(Zr_zTi_m)O₃，其中，0.79≤x≤0.865，0.135≤y≤0.21，0.06≤z≤0.11，0.89≤m≤0.94。

2.如权利要求1所述的钡钙锆钛无铅压电织构厚膜的制备方法，主要包括以下步骤：

1)制备基料：制备(Ba_xCa_y)(Zr_zTi_m)O₃的粉体基料(Ba_aCa_b)(Zr_cTi_d)O₃，其中，0.748≤a≤0.8425，0.1575≤b≤0.252，0.072≤c≤0.132，0.87≤d≤0.928；

2)制备模板：采用BaTiO₃片状粉体为模板；

3)将获得的模板与基料按一定的比例配料并置于研钵中，加入溶剂，研磨3-5小时，再加入粘结剂继续研磨0.5-1.5小时，制得浆料；

4)取出制得的浆料，使用括模板；在铂金上进行丝网印刷，获得丝网印刷后的膜片，将丝网印刷后的膜片平放静置烘干，再重复丝网印刷和烘干步骤2-6次；将烘干后的膜片进行等静压处理，获得生坯；取出压好的生坯进行热处理获得所述钡钙锆钛无铅压电织构厚膜。

3.如权利要求2所述的钡钙锆钛无铅压电织构厚膜的制备方法，其特征在于，步骤3)中，所述溶剂为无水乙醇；所述溶剂的加入量为10g模板和基料的总重对应加入25-40ml无水乙醇。

4.如权利要求2所述的钡钙锆钛无铅压电织构厚膜的制备方法，其特征在于，步骤3)中，所述粘结剂为松油醇和乙基纤维素的混合溶液，并且松油醇与乙基纤维素的重量比为10∶(1-1.5)。

5.如权利要求2所述的钡钙锆钛无铅压电织构厚膜的制备方法，其特征在于，步骤3)中，模板与基料按一定的比例配料是指以模板和基料的总重量为基础，所述模板占总重量的5％-30％。

6.如权利要求2所述的钡钙锆钛无铅压电织构厚膜的制备方法，其特征在于，步骤4)中，所述丝网印刷的丝网目数为100-300目；丝网印刷后的厚膜在110℃下恒温30分钟。

7.如权利要求2所述的钡钙锆钛无铅压电织构厚膜的制备方法，其特征在于，步骤4)中，所述等静压的压力为100-250MPa；所述等静压的保压时间为5-15分钟。

8.如权利要求2所述的钡钙锆钛无铅压电织构厚膜的制备方法，其特征在于，步骤4)中，所述热处理的温度为1200-1400℃，保温时间为4-10小时，且热处理时的升温速度为1-3℃/分钟；所述热处理时在硅碳棒炉中进行。

9.如权利要求2所述的钡钙锆钛无铅压电织构厚膜的制备方法，其特征在于，所获得的钡钙锆钛无铅压电织构厚膜厚度为20-30μm。

10.如权利要求1所述的钡钙锆钛无铅压电织构厚膜在压电传感器、压电电动机以及高精度位移控制器中的应用。