[发明专利]透光夹持式预对准机

说明书

技术领域

本发明涉及一种可识别晶圆缺口(切边)及圆心的预对准机，尤指一种透光夹持式预对准机。

背景技术

现有的边缘夹持式预对准机(aligner)大多为卡爪式，常见的有二爪式、三爪式及四爪式。用来检测晶圆缺口的传感器多为透射式传感器(例如LED或激光透过式传感器)。当卡爪夹持晶圆时，任何一个爪的爪臂都有可能遮挡住晶圆缺口。这样，当晶圆缺口旋转至传感器发射的光线位置时，会因为卡爪爪臂的遮挡而无法被识别。现有专利大多提到了避免卡爪末端接触单元遮挡晶圆缺口的方法，例如每个爪的末端至少布置两个接触单元，并且其间距大于晶圆缺口尺寸，而并未提到卡爪爪臂对传感器光线的遮挡的直接解决办法。这些专利采取的解决办法大多是先使晶圆旋转一周，看传感器信号有无变化或信号变化是否符合要求来判断晶圆缺口是否被卡爪爪臂遮挡，若被遮挡，则放下晶圆，待卡爪旋转一定角度后再重新夹持晶圆继续检测。这样会使控制程序更加复杂，并降低了预对准的效率。

发明内容

鉴于以上内容，有必要提供一种透光夹持式预对准机，能够避免由于预对准机卡爪遮挡晶圆缺口及传感器光线带来的重新夹持晶圆的问题。

一种透光夹持式预对准机，所述透光夹持式预对准机包括一机座、一装设在所述机座上的卡爪以及一检测所述晶圆上的缺口的传感器，所述卡爪包括至少两个卡爪接触单元、至少两个卡爪臂以及至少两个与所述卡爪接触单元和所述卡爪臂相连接的连接部，所述卡爪接触单元夹持所述晶圆，所述卡爪臂支撑所述晶圆，所述连接部是透光材料制成，所述传感器包括一光线发射端以及一光线接收端，所述光线发射端发射光线以检测所述缺口位置。

相对现有技术，本发明透光夹持式预对准机的较佳实施方式中，透光材料采用有机玻璃，采用焊接方式或螺纹连接等与其他零部件连接；而传感器采用发射光线可透过所述的有机玻璃的透过式激光传感器，并可对光信号的微弱变化进行补偿。不必担心晶圆缺口及传感器发射光线被卡爪爪臂遮挡住，也不必做任何调整来重新夹持晶圆，简化了控制程序，并可有效提高预对准的效率。能够避免由于预对准机卡爪遮挡晶圆缺口及传感器光线带来的重新夹持晶圆的问题。

附图说明

图1为本发明透光夹持式预对准机较佳实施方式的立体组装图。

图2为图1中的卡爪的立体图。

图3为图1中的A的放大图。

主要元件符号说明

机座            1

卡爪            2

撑托            3

传感器          4

光线发射端      5

光线            6

光线接收端      7

卡爪接触单元    8

连接部       9

卡爪臂       10

卡爪转轴     11

晶圆         12

缺口         13

具体实施方式

请参阅图1-3，本发明透光夹持式预对准机较佳实施方式用于夹持晶圆边缘并识别晶圆缺口(切边)及圆心。所述透光夹持式预对准机包括一机座1、一装设在所述机座1上的卡爪2、一设于所述机座1上的撑托3以及一与所述撑托3相对的传感器4。所述卡爪2、所述撑托3、所述传感器4设在所述机座1的同一面。

请继续参阅图2，所述机座1呈一立方体。所述卡爪2装设在所述机座1上，所述卡爪2包括至少两个干卡爪接触单元8、至少两个连接部9、至少两个卡爪臂10以及一卡爪转轴11。所述卡爪接触单元8呈一钩状，用以夹持一晶圆12。所述连接部9呈一小立方体形状，采用透光材料制成，并且连接所述卡爪接触单元8和所述卡爪臂10。所述卡爪臂10为长条状，若干卡爪臂10连接到所述卡爪转轴11上。所述卡爪转轴11呈圆柱状，并将所述卡爪2装设在所述机座1上。其中，透光材料采用有机玻璃，采用焊接方式或螺纹连接等与所述卡爪接触单元8和所述卡爪臂10相连接。所述卡爪转轴11的延伸方向与所述卡爪臂10所在的平面相垂直。在本较佳实施例中，所述卡爪2具有三个卡爪臂10。