[发明专利]高响应灵敏度悬臂梁结构及其制作方法无效
| 申请号： | 201210002721.7 | 申请日： | 2012-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN103193191A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 刘瑞文;焦斌斌;李志刚;孔延梅;卢狄克;陈大鹏 | 申请（专利权）人： | 昆山光微电子有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人： | 盛建德 |
| 地址： | 215325 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 响应 灵敏度 悬臂梁 结构 及其 制作方法 | ||
1.一种高响应灵敏度悬臂梁结构，包括非金属层(1)和金属层(2)，所述金属层位于所述非金属层上侧面上，其特征在于：所述金属层和非金属层形成的悬臂梁呈规律的褶皱状。
2.根据权利要求1所述的高响应灵敏度悬臂梁结构，其特征在于：所述金属层为铝层、金层、铬层和镍层之一。
3.根据权利要求1所述的高响应灵敏度悬臂梁结构，其特征在于：所述非金属层为多晶硅层、氮化硅层和氧化硅层之
4.根据权利要求1所述的高响应灵敏度悬臂梁结构，其特征在于：所述悬臂梁为直角式褶皱悬臂梁，该直角式褶皱悬臂梁的每个褶皱均为上凸的矩形状褶皱。
5.根据权利要求1所述的高响应灵敏度悬臂梁结构，其特征在于：所述悬臂梁为直角式褶皱悬臂梁，该直角式褶皱悬臂梁的每个褶皱均为下凹的矩形状褶皱。
6.根据权利要求1所述的高响应灵敏度悬臂梁结构，其特征在于：所述悬臂梁为斜角式褶皱悬臂梁，该斜角式褶皱悬臂梁的每个褶皱均为上凸的半椭圆状褶皱。
7.根据权利要求1所述的高响应灵敏度悬臂梁结构，其特征在于：所述悬臂梁为斜角式褶皱悬臂梁，该斜角式褶皱悬臂梁的每个褶皱均为下凹的半椭圆状褶皱。
8.一种如权利要求1至7中任一项所述的高响应灵敏度悬臂梁结构的制作方法，其特征在于包括以下步骤：
①首先准备一块硅衬底(3)材料，在该衬底的上侧面上淀积一层掩蔽层(4)，然后刻蚀该掩蔽层使部分衬底材料露出，并形成规律的图形；
②对图形化的上述部分露出的衬底进行各向异性刻蚀，刻蚀出需要深度和形状的图形；
③去掉上述掩蔽层，在衬底上侧面上淀积一层非金属材料层，形成悬臂梁结构的非金属层(1)；
④在上述非金属层上刻蚀一金属材料层，形成悬臂梁的金属层(2)；
⑤腐蚀上述非金属层下的衬底，释放悬臂梁结构即完成整个悬臂梁结构的制作。
9.根据权利要求8所述的高响应灵敏度悬臂梁结构的制作方法，其特征在于：所述衬底材料为多晶硅、非晶硅和氧化硅之一。
10.根据权利要求8所述的高响应灵敏度悬臂梁结构的制作方法，其特征在于：所述掩蔽层的材料为光刻胶、氧化硅、氮化硅和铝之一。
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